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溶胶-凝胶法制备耐磨宽带SiO2/TiO2增透膜 总被引:9,自引:3,他引:6
以钛酸正丁酯[Ti(OBu)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶—凝胶(sol—gel)提拉方法在K9光学玻璃基片上镀制得高透过的λ/4~λ/2型宽带增透膜。该增透膜的表面均匀性良好,均方根粗糙度(RMS)为1.201,平均粗糙度(RA)为0.934,具有一定的耐擦除性。经200℃热处理,膜层中的OH吸收峰已基本消失,在400~700nm光谱范围的透过率比基片的平均透过率提高6.6%。为实现大面积涂覆“神光”装置主放大器的防爆隔板玻璃,大幅度提高主放大器的抽运效率奠定基础。 相似文献
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