全光型硅微机械流量传感器初探

介绍一种新颖的全光型硅微机械流量传感器。给出该传感器结构及工作原理的理论分析，并阐述传感器样品的测试及结果。流量传感器具有带脊型波导的悬臂结构。悬梁用作器件的敏感区，而检测光束可以在脊型波导中传输。     

用连续波电光检测技术进行LiNbO3定向耦合波导调制器的场分布测量

本文介绍一种新颖的无损伤检测技术——连续波电光检测技术(OWEOP)对LiNbO_3定向耦合波导调制器模拟样品内场分布进行各种测量所获得的实验结果。采取了背射和端射两种测量方式,测出了波导电极条下,电极间隙区以及电极中断区电场的分布,并对实验结果进行了讨论。     

硅微机械谐振器特性与激励光斑位置关系的研究

阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果，结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关，在模态的两节点的中心位置进行激励，可得到最大的振幅，而且振幅随着激励光斑偏离子中心位置而下降基节点处激励时，振幅达到最小。上述结论也适用于其它点热源激励的微机械谐振器，并为点热激激励的微机械谐振器的设计和制作提供了依据。