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1.
激光束低频畸变波前模型的计算模拟   总被引:17,自引:9,他引:8  
在分析强激光束低频位相噪声特点的基础上 ,采用位相均方根梯度表征激光束的低频位相噪声并结合随机位相屏构建相应的畸变波前模型。通过模拟计算 ,给出低频位相噪声的均方根梯度与聚焦光斑尺寸的初步规律。  相似文献
2.
液晶实时掩膜技术制作连续微光学元件   总被引:13,自引:4,他引:9  
提出制作连续微光学元件的一种新技术———液晶实时掩膜技术 ,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论 ,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验 ,用全色银盐干板 (Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为 118.7μm ,深为 1.32 2 μm的 5 6× 48的轴锥镜的列阵。  相似文献
3.
激光直写邻近效应的校正   总被引:12,自引:1,他引:11  
邻近效应是限制光刻系统分辨力的一个重要因素,它也限制了激光直写在亚微米和亚半微米光刻中的应用。分析了激光直写邻近效应产生的原因,指出它和电子束直写及投影光刻的区别,提出了一种简便有效的邻近校正方法。实验表明,通过光学邻近校正(OPC),利用微米级激光直写系统,制作出了0.6μm的实用光刻线条  相似文献
4.
基于数字微反射镜灰度光刻的成像模型   总被引:10,自引:9,他引:1       下载免费PDF全文
在深入探讨DMD(Digital Mirror Device)灰度图形传递的特点基础上,把曝光量分布作为分析数字光刻成像的物理量,建立了数字灰度光刻的成像模型.以制作微米量级微透镜为例,通过模拟分析,讨论了数字光刻过程中DMD的工作方式、成像系统参量对抗蚀剂曝光量分布的影响,揭示了数字灰度光刻成像机理,为开展数字光刻实验研究提供了理论根据.  相似文献
5.
四激光束干涉光刻制造纳米级孔阵的理论分析   总被引:9,自引:5,他引:4       下载免费PDF全文
张锦  冯伯儒  郭永康 《光子学报》2003,32(4):398-401
为提供一个在大范围内曝光出深亚微米甚至纳米级周期性密集图形的廉价的方法,研究了四激光束干涉光刻的原理,分析了干涉曝光的结果,并进行了计算机模拟.用现有的光源,如442 nm、365 nm、248 nm、193 nm激光,曝光得到的图形的临界尺寸容易做到180~70 nm.具有实际上无限制的焦深和容易实现的大视场.适合硅基CCDs、平场显示器的场发射电极阵列等光电子器件中大范围内超亚微米级的周期性孔阵或点阵结构图形的制作.  相似文献
6.
两光子晶体光纤激光器相干锁定的实验研究   总被引:8,自引:1,他引:7  
利用自成像腔技术进行光子晶体光纤(PCF)激光器光束相干合成的实验研究,实现了两光子晶体光纤激光器的相位锁定.在不使用滤波器的情况下,实验仍能观测到清晰的下涉图样,且在高功率输出状态以及环境噪声情况下干涉图样仍可保持稳定,表明具有单模大模场特性的光子晶体光纤在实现光束相干合成方面比传统的双包层光纤(DCF)有明显的优越性.实验还表明耦合输出镜的反射率对相干输出功率有一定影响,当反射镜的反射率分别为5%,10%和15%时,两台激光器相干输出斜率效率分别为63.8%,61.6%和60.2%.在抽运功率为150 W和耦合输出镜的反射率为5%时,获得95.8 W的最大相干功率输出,相干功率合成效率为90.2%.实验中无任何热光效应产生,有望利用该方法获得更高的相干输出功率.  相似文献
7.
基于角谱理论的厚层光刻胶衍射光场研究   总被引:7,自引:1,他引:6  
为快速、准确地获得厚层光刻胶内部衍射光场的分布,利用角谱理论的思想,考虑入射光通过掩模后在光刻胶面的反射、透射和光刻胶曝光过程中其折射率及吸收系数在深度方向上的变化,建立了衍射光场在厚层光刻胶中传输的理论模型。为减小计算量,对快速傅里叶算法进行了改进。该方法数值计算速度快,计算结果准确,并适用于光在折射率渐变的其它介质中的传播。最后,对厚层光刻胶中光场分布进行了数值模拟;计算模拟表明,对于厚层光刻胶,其表面的反射、透射和折射率及吸收系数在深度方向变化对衍射光场分布有明显的影响。  相似文献
8.
用于惯性约束聚变束匀滑的完全连续相位板设计方法   总被引:7,自引:2,他引:5  
针对惯性约束聚变束匀滑对连续相位板的需要,用改进的盖师贝格-撒克斯通(G-S)算法,进行了完全连续相位板(FCPP)设计方法的研究,在盖师贝格-撒克斯通算法流程中,引人局部替代函数,设计出完全连续的深浮雕相位结构,消除了2π线。  相似文献
9.
分数傅里叶变换全息图及其在防伪中的应用   总被引:7,自引:0,他引:7  
提出分数傅里叶变换全息图,讨论了它的性质。拍摄分数傅里叶变换彩虹全息图。基于其再现条件的特殊性,可建立一种新型的伪全息术。  相似文献
10.
 基于标量衍射理论,在傅立叶光学基础上,推导出了谐波分离器衍射效率与其结构参量的关系式;系统地分析了制作误差对衍射效率的影响并进行了计算机模拟研究。  相似文献
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