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1.
磁控溅射CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系   总被引:5,自引:0,他引:5  
对磁控溅射生长在单晶Si(001)衬底上的CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系进行了研究。CNx薄膜沉积实验在纯N2的环境下进行.衬底温度(Ts)保持在350℃.衬底偏压(Vb)在0~-150V之间变化。利用原子力显微镜(AFM)和划痕试验机来测量CNx薄膜的表面粗糙度及对衬底的附着力。AFM和划痕实验的结果显示衬底偏压Vb对CNx薄膜的附着力和表面粗糙程度的影响很大,在-100V偏压下生长的CNx薄膜表面最光滑(粗糙度最小),同时对Si(001)衬底的附着力最好。最后根据实验结果确定了在单晶Si(001)衬底上生长光滑而且附着力好的CNx薄膜的最佳实验条件。  相似文献
2.
N离子注入对金刚石膜场发射特性的影响   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
不同剂量的N离子被注入到化学气相沉积金刚石膜内,研究了表面结构及场发射特性的变化.Raman谱和x射线光电子能谱分析表明,N离子的注入破坏了金刚石膜表面原有的sp3结构,并在膜内形成大量的sp2 C—C 和sp2 C—N 键.样品的场发射测试显示N离子的注入显著提高了金刚石膜场发射特性,膜的场发射阈值电场从注入前的18 V/μm下降到注入后的4 V/μm.金刚石膜场发射特性的提高归因于N离子注入后膜内sp2 C键含量的增加和体内缺陷带的形成,这些变化能改变膜的表面功函数,提高Feimi能级,降低电子隧穿表面的能量势垒.  相似文献
3.
高温退火对非晶CNx薄膜场发射特性的影响   总被引:2,自引:1,他引:1       下载免费PDF全文
采用射频磁控溅射方法在纯N2气氛中沉积了非晶CNx薄膜样品,并 在真空中退火至900 ℃.对高温退火引起的CNx薄膜化学成分、键合结构及其场发射特性方面的变 化进行研究.用傅里叶变换红外光谱和x射线光电子能谱分析样品的内部成分及键合结构的变化,其中sp2键及薄膜中N的含量与薄膜的场发射特性密切相关.退火实验的结果表明 高温退火可以导致CNx薄膜中N含量大量损失,并在薄膜中形成大量sp2<  相似文献
4.
固氢金属化转变压力的理论计算   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
 利用简单金属的赝势理论方法计算了固氢的金属转变压力,并探讨了金属氢可能的晶体结构及力、热物性。计算结果表明,在绝对零度条件下,分子态固氢(HCP结构)向原子相金属氢(FCC结构)的转变压力pt=465.95 GPa。  相似文献
5.
耦合微盘及带输出波导的单微盘腔的耦合模式特性   总被引:2,自引:0,他引:2  
光学微腔具有很高的品质因子和很小的模式体积,在光电子器件研究方面具有重要的应用价值。运用时域有限差分(FDTD)法和Padé近似频谱分析法模拟研究了耦合微盘及带输出波导的单微盘微腔由于空间对称性破坏导致的模式耦合现象;特别计算了耦合模式的场分布和品质因子,并由场分布得出不同角量子数模式的能量比例。对耦合微盘,模式耦合引入的高阶模分量会使耦合模的品质因子大大降低。对半径1μm、折射率3.2的单个微盘,当它连接0.2μm宽度的输出波导时,模式波长相差6.6nm的TE9,1模和TE6,2模耦合形成波长1.52μm的耦合模式,其模式Q值为268,模式具有三角形场分布。  相似文献
6.
微纳米加工技术在纳米物理与器件研究中的应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特件,这正是纳米科技发展的基础之一。要想探索在纳米尺度下材料物埋性质的变化规律及可能的应用领域,离不开相应的技术手段,微纳米加工技术作为当今高技术发展的重要技术领域之一,是实现功能人工纳米结构与器件微纳米化的基础。本文根据几个不同的应用领域,介绍了微纳米加工技术在纳米物理与器件研究领域的应用。  相似文献
7.
高温退火对非晶CNx薄膜场发射特性的影响   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
采用射频磁控溅射方法在纯N2气氛中沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900 ℃.对高温退火引起的CNx薄膜化学成分、键合结构及其场发射特性方面的变化进行研究.用傅里叶变换红外光谱和x射线光电子能谱分析样品的内部成分及键合结构的变化,其中sp2键及薄膜中N的含量与薄膜的场发射特性密切相关.退火实验的结果表明高温退火可以导致CNx薄膜中N含量大量损失,并在薄膜中形成大量sp2键,这些化学成分及键合结构上的变化将直接影响CNx薄膜的场发射特性.与其他温度退火样品相比,750 ℃退火的样品具有最低的阈值电场,显示出较好的场发射特性.  相似文献
8.
单根准直碳纳米纤维的场发射特性   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
李海钧  顾长志  窦艳  李俊杰 《物理学报》2004,53(7):2258-2262
采用等离子体增强热灯丝化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为反应气体,在钨丝衬底上制备出准直的碳纳米纤维(CNFs),其生长密度小于10.6cm-2,长度为6—30μm,直径为60—100nm.并采用自制的双探针扫描电子显微镜系统,对所生长的单根CNF作了场发射特性研究.结果表明,其场发射开启电压约为5V/μm,相应的发射电流达到20μA/cm2,同时,对不同长度的CNFs及单根CNF不同位置的场发射研究表明,场发射电流的大小不仅与材料本身的功函数、外电场场强、材料的微观结构以及宏观的几何结构有关,而且电子在输运过程中所受到的散射也是决定场发射电流大小的关键因素.  相似文献
9.
牛至的研究现状   总被引:1,自引:0,他引:1  
牛至的挥发性及非挥发性成分是牛至的主要生物活性部位,具有许多有益的药理作用,包括抗菌和抗氧化活性.本文主要介绍从牛至中分离出的化学成分的结构以及其生物活性.  相似文献
10.
定向倾斜枝晶生长规律及竞争行为的相场法研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
王雅琴  王锦程  李俊杰 《物理学报》2012,61(11):118103-118103
采用多相场模型对定向凝固过程中倾斜枝晶生长进行了研究, 模拟了单一取向枝晶列的演化规律及不同取向枝晶列汇聚生长竞争淘汰行为. 结果表明, 枝晶尖端过冷度随倾斜角度的增大而增大, 即相同条件下倾斜枝晶尖端位置总是低于非倾斜枝晶; 汇聚生长时择优取向枝晶总是阻挡非择优取向枝晶, 但在抽拉速度较低时, 由于溶质扩散场的相互重叠, 晶界处择优取向枝晶的生长受到相邻非择优枝晶的影响而延缓, 这可能导致非择优取向枝晶淘汰择优取向枝晶.  相似文献
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