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1.
磁控反应溅射SiNx薄膜的研究   总被引:13,自引:9,他引:4       下载免费PDF全文
朱勇  沈伟东  叶辉  顾培夫 《光子学报》2005,34(1):154-157
用磁控反应溅射(RF)的方法制备了SiNx薄膜. 分析了以硅为靶材, 用N2/Ar做溅射气体条件下不同的气流比率、总气压以及沉积速率对薄膜光学常数和表面结构形态的影响, 得出较低总气压下气流比率对薄膜光学常数的影响是最关键的, 而总气压较大的时候, 水汽影响增大, 气流比率的影响反而不明显. 最后提出了合适的工艺条件来制备符合要求的SiNx薄膜.  相似文献
2.
辉光放电—冷凝—原位加压制备纳米固体材料   总被引:1,自引:0,他引:1  
朱勇 《物理》1994,23(2):111-112,72
3.
A photoelectric hybrid optical bistable device (OBD) is investigated by using fibre Bragg gratings as a lightintensity modulator. A new operation with two feed signals is proposed, and with this method the output characteristic of the OBD is remarkably improved. The potential application of such a device in optic stabilizer for fibre laser is also briefly discussed.  相似文献
4.
朱勇  顾培夫  沈伟东  邹桐 《光学学报》2005,25(4):67-571
利用SiOxNy薄膜光学常数随化学计量比连续变化的特性,给出了制备折射率连续可调的SiOxNy薄膜的实验条件。用磁控反应溅射法制备了不同氮氧比的SiOxNy薄膜。研究了不同气流比率条件下薄膜光学常数、化学成分及溅射速率等的变化。用UV-VIS光谱仪测试了透射率曲线,利用改进的单纯型法拟合透射率曲线计算得到了折射率和消光系数。测试了红外傅立叶光谱(FTIR)曲线和X光光电子能谱(XPS)分析了薄膜成分的变化。实验表明薄膜特性与N2/O2流量比率密切相关,通过控制总压和改变气体流量比可控制SiOxNy薄膜的折射率n从1.92到1.46连续变化,应用Wemple-DiDomenico模型计算出光子带隙在6.5eV到5eV之间单调变化。  相似文献
5.
辉光放电─冷凝─原位加压制备纳米固体材料朱勇(中国科学院固体物理研究所,合肥230031)纳米固体材料是一种全新的类气体结构材料,它具有许多特殊优异的性能。与目前已知的较大晶粒的多晶及非晶材料不同,它在结构上表现为长程无序和短程无序[1],因而受到了...  相似文献
6.
朱勇  李宝华  谢国锋 《物理学报》2012,61(4):46103-046103
本文先应用分子动力学模拟BaTiO3体系在初级击出原子(primary knock-on atom, PKA)轰击下缺陷产生和复合的动力学过程, 模拟结果表明:PKA的方向和能量对缺陷数目有重要影响, 并计算了Ba, O和Ti原子的平均位移阈能分别为69 eV, 51 eV和123 eV, 远大于SRIM程序默认的位移阈能25 eV. 然后应用蒙特卡罗软件包SRIM, 模拟质子在BaTiO3薄膜中的能量损失过程, 比较位移阈能对模拟结果的影响, 分析质子能量和入射角度对空位数量以及分布的影响. 结果表明空位数量随着质子能量增加而增加, 增加的速率随能量的增加是降低的;当入射角度大于60°, 空位数量随入射角增大而明显减少.  相似文献
7.
朱勇  孙晓霞 《光学学报》2008,28(s2):134-138
星地激光通信中, 由于大气湍流等影响, 接收光信号将出现包络起伏现象, 严重时将引起接收系统突发误码。为研究其中突发误码的发生规律及其对通信有效性的影响, 对接收光信号包络起伏的仿真方法进行了研究。针对常规的仿真方法在计算量、资源消耗、仿真时间长度等方面存在的诸多弱点, 提出了一种使用Gauss随机过程的幂级数拟合接收光信号幅度的仿真方法, 该方法利用接收光信号均值、方差、偏态系数和峰度系数计算各阶系数, 最高取到3次方项, 并使用FFT/IFFT实现时间功率谱特征拟合。仿真结果证明了该仿真方法的合理性。  相似文献
8.
Heterogeneous catalysts are the most important catalysts in industrial reactions. Nanocatalysts, with size ranging from hundreds of nanometers to the atomic scale, possess activities that are closely connected to their structural characteristics such as particle size, surface morphology, and three-dimensional topography. Recently, the development of advanced analytical transmission electron microscopy(TEM) techniques, especially quantitative high-angle annular darkfield(HAADF) imaging and high-energy resolution spectroscopy analysis in scanning transmission electron microscopy(STEM) at the atomic scale, strengthens the power of(S)TEM in analyzing the structural/chemical information of heterogeneous catalysts. Three-dimensional reconstruction from two-dimensional projected images and the real-time recording of structural evolution during catalytic reactions using in-situ(S)TEM methods further broaden the scope of(S)TEM observation. The atomic-scale structural information obtained from high-resolution(S)TEM has proven to be of significance for better understanding and designing of new catalysts with enhanced performance.  相似文献
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