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1.
溶胶—凝胶工艺提拉法制备二氧化硅增透膜   总被引:15,自引:3,他引:12       下载免费PDF全文
采用溶胶-凝胶工艺用提拉法在石英基片上制备了具有优良的光学特性、高激光损伤阈值和均匀性良好的多孔二氧化硅单层增透膜和“有机硅-SiO2”双层增透膜系.考察了提拉速率对透射特性的影响,并比较了提拉法和液面下降法对所制备膜层的厚度的影响.透射光谱测量表明,在钕玻璃高功率激光的基频(1060nm)、倍频和三倍频等重要激光波长处均得到较为理想的增透,透射率达到99%以上.  相似文献
2.
氨处理溶胶-凝胶SnO2薄膜的光学性质   总被引:9,自引:2,他引:7  
采用溶胶-凝胶法制备SnO2薄膜,通过对薄膜的不同处理方式(热处理和氨处理)所获得的SnO2薄膜的比较,研究了氨处理SnO2薄膜的光学性质。实验结果表明氨处理溶胶-凝胶SnO2薄膜不仅具有良好的增透特性,同时也具有较好的机械强度和电学性能。  相似文献
3.
基于p偏振光双面反射的薄膜传感器光学参数的优化   总被引:4,自引:1,他引:3  
顾铮 《光学学报》1999,19(11):556-1562
p偏振光在镀膜平板玻璃上、下表面反射光强比γ的角度调制曲线的性状与膜层光学参数密切相关。分析了γ与膜层折射率、消光系数及膜厚的相对梯度随光参数变化的着急为基于p偏振光双面反射的薄膜传感器选择最佳参数提供了理论依据,计算表明该类型传感器对膜层折射率的测量分辨率高达10^-7。对不同工艺条件下得到的溶胶-凝胶SnO2膜进行光学参数测定及初步气敏实验,结果表明p偏振光双面反射可作为高灵敏度光化学传感器的  相似文献
4.
玻璃表面层光学参数分布的研究   总被引:3,自引:3,他引:0  
刘晓林  梁培辉 《光学学报》1997,17(8):124-1129
利用并改进平板玻璃两面P偏振光反射光强比的测量来确定玻璃表面光学参数的方法,测量了平板玻璃两面P偏振光反射光强比γ与入射角θi的关系曲线,运用新的表面层模型进行数据模拟,获得了表面层的光学参数分布。  相似文献
5.
超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计   总被引:3,自引:0,他引:3  
胡大伟  李艳秋  刘晓林 《光学学报》2013,33(1):122004-204
针对45nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径。设计了一套小中心遮拦,数值孔径为1.20的Schwarzschild折反式投影光刻物镜。设计结果表明,该投影光刻物镜工作带宽为100pm,像方视场为50μm,线中心遮拦比为13%,光学分辨力为80nm时(6240lp/mm)的系统调制传递函数大于0.45,全视场最大畸变为6.5nm,满足了45nm深紫外(DUV)浸没光刻实验平台对投影光刻物镜的需求。  相似文献
6.
刘晓林  梁培辉 《光学学报》1998,18(5):07-611
利用P-偏振光双面反射法测量了浸泡提拉法制备了“有机硅树脂-二氧化硅-有机硅树脂”三层膜样品两面P-偏振光反射强比γ与入射角θ关系曲线,经过数据拟合,确定了这三层薄膜的光学参数,同时研究了薄膜间的相互作用层的光学参数,测量结果表明此方法可能成为研究薄膜和膜层之间的相互作用的一种新手段。  相似文献
7.
用sol—gel工艺直接在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上分别制备了62%a/b轴择优、65%(014)/(104)择优、高c轴择优取向生长的Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNdT)铁电薄膜。发现BNdT薄膜的铁电、介电和压电性能强烈依赖于晶粒的择优取向。从而证实BNdT中自发极化矢量P,靠近a轴。透射电镜观察表明,非c轴取向薄膜中的柱状晶粒从底电极Pt表面一直延伸到薄膜上表面。而c轴择优取向薄膜中的晶粒细小且主要呈等轴状。讨论了含Bi层状钙钛矿型铁电薄膜在金属电极上的择优取向生长机制。  相似文献
8.
顾铮 《光子学报》1999,28(5):469-472
利用p偏振光在镀膜平板玻璃前后表面反射光强比γ与膜层光学参数之间的密切关系,给出了玻璃表面层的光学参数分布。对典型的薄膜系统-单面镀膜与双面镀膜两种情况,理论分析了玻璃表面层对薄膜光学参数测量的影响。实验上对PMTES和SnO2薄膜参数进行了测量,仅当计及玻璃表面层作用时,反射光强比γ的角度调制曲线才与理论拟合结果相吻合.  相似文献
9.
用sol-gel工艺直接在 (111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上分别制备了62%a/b轴择优、65%(014)/(104) 择优、高c轴择优取向生长的 Bi3.15Nd0.85Ti3O12 (BNdT) 铁电薄膜.发现BNdT薄膜的铁电、介电和压电性能强烈依赖于晶粒的择优取向,从而证实BNdT中自发极化矢量Ps靠近a轴.透射电镜观察表明,非c轴取向薄膜中的柱状晶粒从底电极Pt表面一直延伸到薄膜上表面,而c轴择优取向薄膜中的晶粒细小且主要呈等轴状.讨论了含Bi层状钙钛矿型铁电薄膜在金属电极上的择优取向生长机制.  相似文献
10.
为保证投影光刻物镜的成像性能并降低制造成本,提出了一种更全面可靠的公差分析方法。该方法在以波像差均方根(RMS)值作为评价标准的传统分析方法基础上,添加波像差峰谷(P-V)值作为评价指标,并据此选择合理的补偿器组合。在系统波像差的RMS值和P-V值均满足要求的情况下,采用了较少的补偿器,从而有效地降低了系统的制造难度和成本。结合实验室设计的一套90nm投影光刻物镜进行了公差分析和补偿器优选。结果表明,利用该方法选择的7个补偿器,使得系统在97.7%置信区间内,全视场波像差的RMS值≤0.0412λ,P-V值≤0.2469λ,满足了90nm投影光刻物镜的像质要求。  相似文献
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