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1.
直流法制备类富勒烯碳氢薄膜的摩擦学性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用直流等离子体化学气相沉积(dc-PECVD)技术,以甲烷为前驱体,在单晶硅表面制备了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜.简化了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜的脉冲偏压协助等离子体化学气相制备过程(mcPECVD),通过高分辨率透射电镜和拉曼光谱确定了FL-C∶H薄膜的微观结构和薄膜内的富勒烯含量;通过纳米压痕和往复摩擦试验对比了两种方法制备的FL-C∶H与传统的DLC薄膜的硬度及摩擦性能.结果表明:与用脉冲偏压协助方案制备的含氢类富勒烯薄膜相比,直流方案制备的FL-C∶H薄膜具有相似的微观结构,更优异的机械特性及摩擦学性能,同时该薄膜表现出对载荷、频率和相对湿度的低敏感性.  相似文献   
2.
采用等离子增强化学气相沉积系统制备了含氢非晶碳膜. 加热到相应温度(200、250、300、350和400 ℃)后,对薄膜进行液氮激冷处理,并研究其结构、机械及摩擦性能的变化. 结果表明:薄膜硬度在200~300 ℃温度下液氮激冷后,其硬度随热处理温度增加,C-C sp2键逐渐增加;在350~400 ℃温度下液氮激冷处理后,薄膜的硬度逐渐减小,薄膜呈石墨化趋势;而其弹性恢复在整个处理过程(200~400 ℃)中随温度升高持续增大,和C-C sp2键变化趋势一致. 液氮激冷处理后,含氢非晶碳膜的摩擦系数及磨损量均得到改善,在300 ℃激冷处理的含氢非晶碳膜具备最低的摩擦系数及磨损量.   相似文献   
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