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从等厚子干涉的解释出发,推导出了二维空间的相干方程。基于空间相干方程,利用SLM产生了一个新的空间非相干光源。同时提出了新的相移方案,并结合这个新的相移方案,实现了轴向空间距离的探测和干涉条纹的相移。分析了空间方向角度相干方程的影响,并给出了实验验证。通过对非相干光源的参数和特定的空间距离以及空间方向角的匹配,重建了一个具有标准段差的实际物体的表现形状。为光学表面形状测量提供了新的思路。 相似文献
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