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对氧化钇(Y2O3)部分稳定氧化锆(ZrO2)样品在室温下进行了Ni离子注入(140kev,5×1015-2×1017ios/cm2)和热退火处理.应用电学测量,Rutherford背散射技术(RBS),X射线光电子能谱(XPS)和喇曼光谱方法研究了Ni离子注入多晶ZrO2的表面电性能,注入层结构及其热退火的影响。  相似文献   
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