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1篇
专业分类
物理学
1篇
出版年
1996年
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1
1.
Ni离子注入多晶ZrO
2
的表面电性能和结构
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王国梅
恽怀顺
江冰
李兴丹
吴代华
杨生荣
《物理学报》
1996,45(7):1160-1167
对氧化钇(Y
2
O
3
)部分稳定氧化锆(ZrO
2
)样品在室温下进行了Ni离子注入(140kev,5×10
15
-2×10
17
ios/cm
2
)和热退火处理.应用电学测量,Rutherford背散射技术(RBS),X射线光电子能谱(XPS)和喇曼光谱方法研究了Ni离子注入多晶ZrO
2
的表面电性能,注入层结构及其热退火的影响。
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