膜片上薄膜体声波谐振器型微加速度计

针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,既便于实现与硅微检测质量和FBAR的IC兼容集成加工,也利于改善微加速度计的灵敏度和温度稳定性。对由氧化硅/氮化硅双层复合膜片-硅检测质量惯性力敏结构和氮化铝FBAR检测元件集成的膜片上FBAR型微加速度计进行了初步的性能分析,验证了该结构的可行性。通过有限元模态分析和静力学仿真得出惯性加速度作用下膜片上FBAR结构的固有频率和弹性膜片上的应力分布;选取计算所得的最大应力作为FBAR中压电薄膜的应力载荷,结合依据第一性原理计算得到的纤锌矿氮化铝的弹性系数-应力关系,粗略估计了惯性加速度作用下氮化铝薄膜弹性系数的最大变化量;采用射频仿真软件,通过改变惯性加速度作用下弹性常数所对应的纵波声速,对比空载和不同惯性加速度作用下加速度计的谐振频率,得到加速度计的频率偏移特性和灵敏度。进一步分析仿真结果还发现:氧化硅/氮化硅膜片的一阶固有频率与高阶频率相隔较远,交叉耦合小;惯性加速度作用下,谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数k Hz/g,其加速度-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性。     

温度和盐度对南移养殖刺参(Apostichopus japonicus)胚胎和幼体发育的影响

采用浙江省苍南县养殖海区人工越冬养殖、性腺成熟的刺参为材料,观察并描述了精卵排放至稚参的整个胚胎发育和幼体变态过程,温度和盐度对其胚胎和幼体发育的影响.结果表明,在水温21℃,盐度28.6‰,p H 8.0的条件下,整个胚胎发育过程需要31 h左右,变态发育至稚参需13~15 d.不同水温和盐度对受精卵的孵化率、胚胎发育和幼体的变态时间有显著影响.南移刺参胚胎和幼体发育适宜的水温范围为18~21℃,水温下降至15℃不能受精,适宜的盐度范围为28.6‰~32.4‰,盐度降低至20.5‰或升高至39.1‰,受精卵均不能正常发育.     

管内声传播非线性效应及反声影响的数值研究

本文提出了包括考虑反声效应的一种数值方法来计算跨声速变截面硬壁管道内无声激波非线性声传播问题。通过许多算例,详细讨论了管道形状,喉部流动马赫数,入口声源强度及反声源强度对非线性声传播影响。算例表明,确实存在最佳反声强度,这时管道出口可得到明显的声衰减效果。     

流动管道内反声降噪数值研究

本文用流体力学方法建立了流动管道内反声降噪数值方法，其中，严格推导了反声源的数学模型．本文还给出了产逆流和声顺流传播时管内声场反声影响的数值算例，并讨论了流动速度、反声源强度和相位的影响．算例表明：反声降噪具有很好的工程应用前景．     

紫外光引发丙烯酰胺分散聚合研究

以聚丙烯酸接枝壬基酚聚氧乙烯(PAA -g -NPEO)作分散剂,紫外光(UV)引发丙烯酰胺(AM )在叔丁醇 水(TBA /H2 O)体系中进行了分散聚合.考察了聚合反应特征以及醇水比、初始单体浓度、引发剂浓度、分散剂浓度、表面入射光强、反应温度、液层厚度等参数对聚合产物粒径及分子量的影响.结果表明该聚合体系不存在诱导期,反应速度快,光照4 0min转化率可达到90 % ,产物分子量达6 . 5×10 6 .透射电镜(TEM)观察显示所得聚合物粒子基本为球形,粒径分布较为均匀.     

介电层粗糙对电容式RF MEMS开关down态电容退化的影响

电容式RF MEMS开关在控制高功率射频信号时会发生自锁失效,由于开关桥膜与介电层之间的粗糙接触,开关的down态电容会发生退化,因此很难建立开关自锁失效阈值功率的高保真预测模型。提出了3D电磁-等效电路仿真对比建模的方法。建立开关的3D电磁仿真模型,仿真得到具有任一表面粗糙度水平的介电层粗糙开关的隔离度(S21)曲线;再建立同一开关的等效电路模型,通过调谐其down态电容值,使得仿真得到的S21曲线与3D电磁模型仿真结果尽可能吻合;此时,可以确定一组根据开关3D电磁仿真模型设定的表面粗糙度水平与等效电路模型调谐好的down态电容值的关系;改变开关介电层的表面粗糙度水平,并重复上述步骤,确定了任一开关的介电层表面粗糙度与开关down态电容退化的关系。采用文献的down态电容实测数据,初步验证了该方法的可行性和合理性。并利用所得的开关down态电容随介电层表面粗糙度退化的特性,对简化的(介电层光滑)开关自锁失效阈值功率解析计算式进行了修订,可扩展用于预测介电层粗糙开关的功率容量。     

吹扫捕集-GC-MS-SIM法测定水中微量甲基叔丁基醚

采用吹扫捕集-气相色谱-质谱联用选择离子检测法(GC-MS-SIM)测定水中微量的甲基叔丁基醚,最低检出质量浓度0．05μg/L,相对标准偏差2．4％,样品的加标回收率在94％∽120％之间。     

体声波双工器中滤波器的参数化设计方法

Tx与Rx滤波器,作为体声波(BAW)双工器的关键部件,其中各薄膜体声波谐振器(FBAR)单元的谐振区面积会影响滤波器的插入损耗和带外抑制这两个重要指标。由于这两个指标是相互制约的,在设计时往往需要折衷考虑,这使得各FBAR单元的谐振区面积设计成为BAW双工器设计的难点之一。为了解决这一问题,提出了一种Tx与Rx滤波器的参数化设计方法。在ADS软件中以FBAR的Mason模型为基础构建了梯形拓扑结构的滤波器电路模型。设置其中各串联FBAR的谐振区面积值以及串并联FBAR的谐振区面积比值为两类优化参数。以给定的滤波器插入损耗与带外抑制为优化目标,使用ADS软件中基于梯度的优化算法得到各参数的优化值。根据优化结果可以简单地计算得到滤波器中各FBAR单元的谐振区面积。以一个工作在LTE band 7的BAW双工器为设计案例展示了该方法的应用流程。设计结果的仿真验证表明:Tx滤波器的插损小于2dB、在Rx滤波器通带内的抑制大于40dB;Rx滤波器的插损小于1.9dB、在Tx滤波器通带内的抑制大于40dB;满足BAW双工器中Tx与Rx滤波器的性能指标。由此验证了该方法的可行性和易用性。     

声门下共鸣的谱规整用于非特定人的语音识别

提出在参数的提取过程中用不同的感知规整因子对不同人的参数归一化,从而实现在非特定人语音识别中对不同人的归一化处理。感知规整因子是基于声门上和声门下之间耦合作用产生声门下共鸣频率来估算的,与采用声道第三共振峰作为基准频率的方法比较,它能较多的滤除语义信息的影响,更好地体现说话人的个性特征。本文提取抗噪性能优于Mel倒谱参数的感知最小方差无失真参数作为识别特征,语音模型用经典的隐马尔可夫模型(HMM)。实验证明,本文方法与传统的语音识别参数和用声道第三共振峰进行谱规整的方法相比,在干净语音中单词错误识别率分别下降了4%和3%,在噪声环境下分别下降了9%和5%,有效地改善了非特定人语音识别系统的性能。     

Effects of annealing rate and morphology of sol–gel derived ZnO on the performance of inverted polymer solar cells

The effects of annealing rate and morphology of sol–gel derived zinc oxide(ZnO)thin films on the performance of inverted polymer solar cells(IPSCs)are investigated.ZnO films with different morphologies are prepared at different annealing rates and used as the electron transport layers in IPSCs.The undulating morphologies of ZnO films fabricated at annealing rates of 10 C/min and 3 C/min each possess a rougher surface than that of the ZnO film fabricated at a fast annealing rate of 50 C/min.The ZnO films are characterized by atomic force microscopy(AFM),optical transmittance measurements,and simulation.The results indicate that the ZnO film formed at 3 C/min possesses a good-quality contact area with the active layer.Combined with a moderate light-scattering,the resulting device shows a 16%improvement in power conversion efficiency compared with that of the rapidly annealed ZnO film device.