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应用约束刻蚀剂层技术(CELT)对GaAs进行电化学微加工. 研究了刻蚀溶液体系中各组成的浓度比例、GaAs类型、掺杂以及阳极腐蚀过程对GaAs刻蚀加工过程的影响. 循环伏安实验表明, Br-可以通过电化学反应生成Br2作为刻蚀剂, L-胱氨酸可作为有效的捕捉剂. CELT中刻蚀剂层被紧紧束缚于模板表面, 模板和工件之间的距离小于刻蚀剂层的厚度时, 刻蚀剂可以对GaAs进行加工. 利用表面具有微凸半球阵列的导电模板, 可以在不同类型GaAs上加工得到微孔阵列. 实验结果表明: 在相同刻蚀条件下, GaAs的加工分辨率与刻蚀体系中各组分的浓度比例有关, 刻蚀结构的尺寸随着刻蚀剂与捕捉剂浓度比的增加而增大; 在加工过程中, p-GaAs相对于n-GaAs和无掺杂GaAs受到阳极氧化过程的影响较为显著, p-GaAs表面易生成氧化物层, 影响电化学微加工过程. X射线光电子能谱(XPS)和极化曲线实验也证明了这一点. 相似文献
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在最大化利用石油资源及石油炼制向生产精细化工品侧重的趋势下,从分子层次实现对石油加工过程中的原料组成、相行为及转化过程的模拟化,已成为石油化工领域学术界和工业界的关注热点,并由此形成了石油加工"分子管理"这一研究方向.本文阐述了分子管理技术的内涵及其研究范畴,介绍了分子管理技术主要的内容及应用方向.重点介绍了本课题组开发的分子管理软件平台的基础框架、模块构成及所实现的功能,包括分子的数学化表达、性质计算、组成模型生成、反应网络构建及反应动力学模型生成等功能,覆盖了分子管理研究的完整链条. 相似文献
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