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1.
网格结构微环谐振电光开关阵列的特性分析
汪玉海
贺可川
马宁伯
王春旭
张永玲
宋明星
王国峰
秦政坤
《光子学报》
2019,48(11)
设计了由N+1条水平通道、N条竖直通道和2 N个微环构成的电光开关阵列器件,并对其传输特性进行了分析.通过在列微环上加载不同的工作电压,实现相应通道的开关功能.以5×4通道8微环结构为例,取波导芯的宽度与厚度均为1.5μm,波导芯与电极之间的限制层厚度为2.0μm,电极厚度为0.05μm,微环与通道之间的耦合距离为0.1μm.当开关电压为8V时,该器件的插入损耗在2.79~4.31dB范围内,串扰在-20dB以下,消光比在12.5dB以上.
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