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用半导体激光器实现高精度动态定位 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种新的半激光定位技术,把半导体激光器的线性调频特性和双波长细分技术结合起来,用两个半导体激光器完成了零点的高精度动态定位,突破了传统白光定位的局限,简化了干涉仪的设计,实现了大范围的零点捕捉。定位精度达到0.01μm。 相似文献
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