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采用双面抛光的锗片为基底,镀制中波减反射膜,在湿热环境中分别持续24 h、224 h、324 h、424 h、524 h、、 1224 h之后,研究了湿热环境对Ge基中波减反射膜的光学特性、牢固性等可靠性的影响。实验结果表明:在现有工艺条件下,所镀制的Ge基中波减反射膜经不同时间的湿热环境之后,透过率逐渐变低,并出现CO2和H2O的特征吸收峰,吸收峰是减反射膜长时间持续在湿热环境下CO2和H2O含量增大所致;湿热环境1024 h后,边缘膜层开始出现脱落现象,1224 h后,膜层平均透过率低于85%。 相似文献
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为考察滤光片在低温环境下的可靠性,镀制了Ge基和宝石基中波带通滤光片,分别实施了5 min、15 min、25 min、35 min、120 min、300 min的液氮低温试验,并测试出其透过率曲线,考察低温对其光谱特性及膜层牢固度的影响。带通滤光片通带区透过率随低温时间增长有逐渐下降趋势,中心波长出现13 nm的微小偏移,是所镀制的膜料高、低折射率相对变化使中心波长和截止波长的比值发生变化所致。Ge基材料对温度更为敏感,在由常温到低温过渡期间,Ge基中波滤光片通带透过率降低幅度比宝石基底的中波带通滤光片大10%。在300 min以内的低温环境下,2种中波红外带通滤光片均未出现膜层脱落现象。 相似文献
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