氦氢离子协同注入对锆膜形貌及物相结构的影响

 采用磁控溅射法制备了Zr-Mo膜，随后在低能静电加速器上分别采用剂量为2.80×10¹⁷~1.12 ×10¹⁸ions·cm^-2的He⁺、H⁺离子辐照Zr-Mo膜，利用光学透镜、扫描电镜、原子力显微镜和X射线衍射研究He⁺、H⁺离子协同注入效应对Zr-Mo膜微观结构的影响。实验结果表明：原始Zr-Mo膜表层晶粒清晰可见，尺寸约为200nm；辐照效应可导致Zr-Mo膜表层产生微观损伤区域，在注He⁺基础上注H⁺导致Zr-Mo膜出现更为严重的损伤现象；离子注入的表面溅射效应可使膜面晶粒边界逐渐刻蚀退让，导致膜面更加光滑、细致；He⁺、H⁺ 离子协同注入可使Zr-Mo膜晶格发生畸变，注入期间未使Zr-Mo膜发生吸H相变生成氢化物。