原子光刻中驻波场与基片距离的判定方法研究

原子光刻实验中, 激光驻波场能起到原子透镜的效果, 实现原子汇聚. 激光驻波场与沉积基片间的距离对形成纳米条纹结构的质量具有重要影响. 利用高斯光束传播规律, 提出了一种能够定量判断激光驻波场与沉积基片相对位置的实验方法. 该方法通过调节装载有凸透镜和反射镜的精密位移台改变驻波场距基片的距离, 利用光电探测器接收反射光强的变化, 将位移改变量转变为接收器的电压信号. 利用驻波场激光束光斑直径值, 实现准确定位驻波场与基片的距离. 对上述实验过程进行数值模拟, 数值计算的结果和实验结果高度符合. 该方法实现了准确定位驻波场距基片的距离, 为后续深入研究驻波场和基片间距离对沉积纳米条纹结构质量的影响提供实验基础.     

一种内腔式He-Ne激光器频率稳定方法的实验研究

实现了用微型风扇冷却的方法替代常见的加热方式完成对He-Ne内腔激光器的频率稳定.研究了微型风扇驱动电压与转速的响应特性和内腔式He-Ne激光器的热膨胀特性.采用风冷方式对激光器的腔长进行调节和控制,并通过双纵模功率平衡原理完成了激光频率的稳定.稳定后的激光器管壁平均温度低于50℃.与高精度碘稳定激光的拍频实验结果表明,其频率在20h内的波动范围小于1.4 MHz (τ=1 s),4个月内激光频率的相对标准不确定度为U=4.7×10-9.     

铬原子感生荧光稳频频率稳定性的分析

激光会聚铬原子沉积实验所需时间可长达几十分钟至几个小时,实验过程中要求激光频率的波动小于5MHz,感生荧光稳频技术能够解决原子沉积实验中激光频率漂移的问题。为了保证激光频率的长时间稳定性,对稳频系统的误差信号随激光功率及原子炉温度的变化情况进行了研究。结果显示,在光强为8mW,原子炉温度为1923K时,激光频率的长期漂移可抑制到最小,在200分钟内的频率波动仅有±0.6MHz。同时,重复实验的结果也表明稳频系统具有很好的稳定性,从而为原子沉积技术提供了保障,并提高了沉积实验的重复性。     

中国的国家长度基准：稳定在^127I2超精细结构上的633nm He－Ne激光（续）－－现代计量科学专题之三

4新一代碘稳频激光系统 进入20世纪90年代以来,由于技术的不断进步,在计量学领域,633nm稳频He-Ne激光被广泛使用.基于三次微分技术的碘稳频He-Ne激光除了在传统意义上用于计量标准的目的外,也开始进入到一些有特殊精度要求的测量系统中.     

中国的国家长度基准：稳定在^127I2超精细结构上的633nmHe—Ne激光——现代计量科学专题之三

介绍了工度基本单位的三次定义,阐述了复现新米定义的基准装置碘稳频633nmHe-Ne激光波长基准的工作原理,并着重介绍了我国长度基准的工作原理,着重介绍了我国长度基准装置的改进,包括光机结构及吸收峰的自动识别及锁定电子系统,给出了国际比对的结果。