无金和掺金Si-SiO2界面的氧退火特性

本文从实验上研究了氧退火后无金和掺金两类Si-SiO₂界面表面电荷、界面态以及禁带中态密度分布的热处理变化。考察了金的界面效应的退火行为。还给出了不同温度下干氧氧化所形成的Si-SiO₂界面(包括无金和掺金的)和相同温度下氧退火界面在电性能上的对比结果。 关键词：     

Au在Si-Si_3N_4界面的电学效应

本文系统地研究了Au在Si-Si_3N_4界面的电学效应及其热处理行为,对MNS结构进行了电子能谱分析,并探讨了Au在界面处的作用机制。     

Au在Si-Si3N4界面的电学效应

本文系统地研究了Au在Si-Si₃N₄界面的电学效应及其热处理行为,对MNS结构进行了电子能谱分析,并探讨了Au在界面处的作用机制。 关键词：     

无金和掺金Si-SiO_2界面的氧退火特性

本文从实验上研究了氧退火后无金和掺金两类Si-SiO_2界面表面电荷、界面态以及禁带中态密度分布的热处理变化。考察了金的界面效应的退火行为。还给出了不同温度下干氧氧化所形成的Si-SiO_2界面(包括无金和掺金的)和相同温度下氧退火界面在电性能上的对比结果。