高温超导滤波器频带偏移研究——以L波段滤波器为例

基于阶跃阻抗谐振器(SIR)设计了一款工作于L波段的十四阶高温超导带通滤波器,借助交叉耦合结构在通带两侧引入两对传输零点以提高带边陡度,使得滤波器的60 dB/3 dB矩形度优于1.25。滤波器制备在双面涂覆YBCO薄膜、厚度为0.500 mm的MgO基片上。70 K温度下的测试结果表明：其带外抑制优于80 dB,插入损耗优于0.31 dB,反射损耗优于14.8 dB,通带范围为1.235～1.271 GHz。与设计指标1.250～1.286 GHz相比,通带范围往低频端整体偏移15 MHz。梳理滤波器的研制流程,经分析后认为频带偏移主要源于光刻、刻蚀中线条变窄效应和超导薄膜在超导状态下的动态电感效应。