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建立一维自洽流体模型,对低压甚高频等离子体放电中产生的主要粒子建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了甚高频对纳米粒子的种子离子SiH3-及电子和正离子SiH3+的影响,给出了种子离子、电子以及正离子密度随频率变化的时空演化过程。结果表明改变频率可以改变SiH3-的密度,从而控制粒子的成核及生长。同时甚高频放电也改变了等离子体中电子和正离子密度以及电场的强度,从而加快等离子体中的化学反应速度和纳米粒子的沉积速度。
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基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究。模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar2+和氩激发态Ar*等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了极板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响。给出了电子,Ar+,Ar*和Ar2+密度随极板电压及间距变化的时空演化过程。得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变,对应一定的极板间距,极板电压有一个最佳值,极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值,而对应最佳电场有一个等离子体气体间最佳反应系数,从而使放电空间粒子数密度发生改变。 相似文献
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虚拟仿真实验在实际教学中充分发挥作用,并获得理想的实验教学效果,是信息技术应用在实验教学改革的一个重要目标。虚拟仿真实验不仅能够让学生在课前充分地进行实验认知和预操作,而且可以在实验课后检查自己在实际操作中出现的一些问题,从而使虚拟仿真实验贯穿于整个实验教学周期。本文讨论了真空技术虚拟仿真实验在实际实验教学中的应用。学生通过真空技术虚拟仿真实验的应用,更好地了解实验仪器的操作规范、实验原理的动态展示和实验步骤的反复操作,可以让学生充分了解真空技术的整个实验过程,操作注意事项,真空技术的重点和难点,以及实验课结束后检查核对实际操作过程。达到增加学生学习兴趣、理解原理、操作技能、提高教学效果的目的。 相似文献
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