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七十年代初发展起来的微区分析新技术──Auger谱仪(AES)及扫描Auger 谱仪(SAM)在材料研究中的应用愈来愈受到人们的重视. 长期以来,Auger效应[1]未能找到实际应用.直至1953年才由Lander[2]提出了可在超高真空中测量Auger电子,这种电子由于能保持来自表面层的特征能量信息而可用作表面分析.1968年,Harris[3]用电子能量微分法提高了灵敏度;1969年 Palmberg 等[4]利用镜筒分析器(CMA)提高了灵敏度及测量速度后,Auger 电子能谱实际应用的阶段才真正开始.1973年出现了扫描Auger微探针(SAM),为微区分析技术开创了崭新的局面[5,6]. 目前,… 相似文献
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