大面积微通道板（MCP）电子清刷测试系统设计

电子清刷是提升MCP性能的有效手段,鉴于目前国内的清刷测试系统只适用于直径30 mm以下的MCP,设计了一套4工位大面积MCP（500 mm100 mm）的清刷测试系统。该系统4个工位均可实现对大面积MCP的电子清刷,且其中一个工位兼具测试功能,可以测试清刷前后MCP的参数变化,清刷测试工位可实现相互转换。通过均匀紫外光照射金阴极产生均匀电子再经标准MCP（105 mm）倍增后得到用于清刷的可调均匀电子束。多次抽真空、检漏、及对该系统的烘烤处理使该系统达到真空度510-4 Pa的时间小于45 min,且极限真空度优于510-5 Pa,完全满足了清刷测试的指标要求。针对负载对该真空系统抽真空难度带来的影响,定义了负载影响因子K,并在实验过程中对K值作了量化计算（K值在0.35~1.57范围内）,揭示了K值与该系统抽真空难度存在的正比例关系。