低散射反射镜表面粗糙度及其测量

本文论述和推导用表面粗糙度来评价超光滑表面特性的数学表达式,并列举已经用于超低散射反射镜、未镀膜基层的几种表面粗糙度的测量方法、使用的仪器及其适用范围,进而对测量结果进行了分析。指出这些方法的优缺点,揭示不同方法所得测量结果产生差异的原因。