无焦压缩光路系统的计算机辅助装调方法

为了解决随机成分多、调节灵敏度高的离轴反射式系统的精确装调问题,介绍了干涉测量与计算机优化技术相结合的方法,建立了各元件失调量与初级像差之间的关系,以及元件间的像差相互补偿关系,通过干涉测量采集系统全视场的波前差,反向优化得到各元件的失调量,在波长为632.8 nm时,无焦压缩光路系统全视场平均出射波前优于RMS0.055 ,压缩比误差小于5,实现了无焦压缩光路系统高精度、高效率的装调。