大尺寸电磁加热的氮化物MOCVD反应室温度场的仿真与优化

本文通过对电磁加热八英寸晶片的立式氮化物MOCVD反应室建立数学模型,利用有限元法,对传统的加热结构进行了优化.为提高晶片温度分布的均匀性,本文提出了矩形槽和圆环段形槽两种不同槽结构的基座,通过对这两种槽结构基座的优化分析发现,与传统用的基座相比,这两种槽结构的基座改变了传统基座中的传热方式和不同方向的传热速率,从而提高了晶片温度分布的均匀性,这有利于提高薄膜生长的质量.     

一个不同时刻加工成本有差异的单机排序问题

考虑一个单机排序问题:一批工件在零时刻到达可加工,加工时不可中断,在某个给定时间区间外的加工工时将招致额外的加工成本;当时间区间为给定参数时,要求确定一个最优加工序,当时间区间为决策变量时,要求找到一个最优序及最优区间位置, 由此来最小化总额外加工成本．文中对各种区间外单位加工工时之额外成本的情况给出了多项式算法, NP-hardness的证明及伪多项式时间算法．     

多元函数的高阶微分中值定理

对凸区域DRn上的二次可微函数,本文采用构造“混合函数”的方法,将多元函数微分中值定理推广到了高阶的情形,并给出了应用示例.     

CAUCHY微分中值定理的推广

设Δn:a=x0 相似文献