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以乙酰丙酮盐为原料,用溶胶——凝胶法(Sol-Gel)制备掺铒的锆钡镧铝(ZBLA)氟化物薄膜光波导.第一步为制备包含锆钡镧铝及铒的溶胶;第二步为在基底上用旋转镀膜的方法镀膜及氟化.用这种方法得到的薄膜用扫描电镜测量了其组分和表面膜的形态.同时也测得膜的厚度和折射率. 相似文献
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