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氮化硅掩膜法制备选择性发射极晶体硅太阳电池 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片表面镀一层约80 nm厚的氮化硅掩膜,然后使用传统的丝网印刷工艺将含有一定量磷酸的腐蚀浆料印刷在氮化硅掩膜表面,腐蚀出电极图形,经过三氯氧磷液态源扩散完成重扩,去除氮化硅掩膜后进行浅扩最终实现选择性发射极.丝网印刷腐蚀浆料开窗相对于激光熔融、等离子刻蚀和光刻等方法,具有高的产量、设备投资和运营成本低等优势,容易在现有生产线上实现.最后对比了选择性发射极晶体硅太阳电池和常规太阳电池的电性能和光谱响应,制备的选择性发射极晶体硅太阳电池的短波响应优于常规晶体硅太阳电池,效率提高了0.3;. 相似文献
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初中阶段对学生来说无疑是重要的,以数学学科的学习为例,通过初中数学,学生能够习得有益于成长的思想和技能,能够全面发展,这与核心素养视角下的要求不谋而合.作为数学素养中的关键构成,运算能力尤为关键,是中学生的必备能力,也是教学重点本文对如何构建数学课堂培养运算能力展开研究. 相似文献
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