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专业分类
晶体学
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2013年
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1.
多晶硅薄膜结晶团晶化机理的研究
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靳瑞敏
蔡志端
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
《人工晶体学报》
2013,42(2):278-281
本文用PECVD法在石英玻璃上沉积非晶硅薄膜,然后用快速光退火和传统电阻炉退火方法晶化生长多晶硅薄膜,用拉曼光谱仪、XRD和场发射扫描电镜观察分析薄膜,发现在制备的多晶硅薄膜表面存在结晶团现象,并对这一现象的晶化机理进行了分析.
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