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晶体学   1篇
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不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响   总被引：1，自引：0，他引：1       下载免费PDF全文
通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好.采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3;.  相似文献   
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