提拉法生长单晶工艺中的扩肩阶段实行自动控制的研究

在用提拉法（Czochralski)生长钽酸锂（LiTaO3)、铌酸锂（LiNbO3)单晶的实践中,通过对上“浮秤”模拟体的优化设计,成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制。     

5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究

本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长φ5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计.这些技术的集成,是φ5英寸晶体生长成功的必要保证.