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晶体学
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1.
5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究
康平
张振志
周志强
韦勇
张寒贫
杜小红
陈建
张庆海
成肇安
《人工晶体学报》
2006,35(6):1388-1391
本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长φ5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计.这些技术的集成,是φ5英寸晶体生长成功的必要保证.
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