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化学
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1.
非晶硅太阳能电池生产工艺用氣分析方法研究
崔熙鐘
唐福君
蒋文全
林佳
王婉英
《分析试验室》
1993,(3)
本文对非晶硅太阳能电池制造工艺过程所用的无机氢化物烷类气体硅烷、硼烷、磷烷、甲烷和氢及其混合气的配制与分析方法进行了研究,以微机控制配气、检测程序、气相色谱法分成分析杂质,电容法测水分,方法已应用于工艺过程分析。
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