排序方式: 共有6条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
2.
采用X射线光电子能谱(XPS)对InGaAsP/InP异质结构金属有机化学蒸发沉积(MOCVD)外延晶片作了表面元素组分定性、定量和深度分布分析。将其组分定量数据代入带隙经验公式,发现带隙的计算与用光压谱(PVS)实验值十分吻合;但是代入晶体常数经验计算公式计算得到的失配率与由X射线双晶衍射(DCD)测定的失配率却有明显差别。抽检的两个外延晶片的XPS元素分析和元素的深度分布分析,以对比的方式展示两者元素的组成、化学状态在其表面和沿着深度方向的变化及其差异,由此得到的有关片子质量的正确判断,有力地证明了XPS是研究MOCVD外延膜材料的得力工具。 相似文献
3.
4.
王典芬 《分析测试技术与仪器》2000,6(1):12-15
用对比方式对分割成二等分的同一Si/Mo多层非晶薄膜样品分别作了RAS-POINT MODE和POINT MODE的二次离子质谱深度剖面分析,前者是把RAS MODE(扫描法)与POINT MODE(定点法)有效结合起来的一种方法,即所谓扫描一定点法。实验证明,扫描一定点法有效地克服了弹坑效应(Crater effscts)。 相似文献
5.
阐述了XPS谱线退卷积的必要性,传统傅里叶变换退卷积的弊病,MEM最大退卷积的原理、方法和优越性;重点说明了MEM退卷积中如何选择最佳抽样点数的原理和方法,介绍了所研制的MEM最大熵退卷积计算机软件系统在 XPS谱线退卷积中的应用情况,显示了这一方法在XPS谱退卷积中所带来的突破性进展。 相似文献
6.
1