低电压扫描电子显微术

低电压扫描电子显微术是研究半导体、绝缘体和生物材料的有效方法。本文综述了这种方法的优点、限制和关于扫描电镜的改进,并且提供了实际操作的某些要领。     

测量微观不平度的90°相移激光干涉仪

叙述了测量微观不平度的90°相移激光干涉仪的原理和构成。对这种新型干涉仪的性能及有关问题作了讨论。测量结果的计算和样品扫描的控制，由个人计算机完成。垂直分辨率达1um，横向分辨率达10μm。实验结果证明了系统的稳定性。