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采用多层工艺和光刻方法在玻璃衬底上加工了亚微米级金叉指型超微带电极阵列(IDA),IDA电极的宽度为362nm,电极表面位于沟槽内。实验表明,所加工的IDA电极可作为生物和化学传感器的一次性超微基体电极。采用电聚合的方法将葡萄糖氧化酶(GOD)和吡咯(PPy)固定于IDA电极,该修饰电极可作为葡萄糖传感器。采用该葡萄糖传感器对磷酸钾缓冲溶液(pH7.0)中的葡萄糖浓度进行了比对测量,在2.0-7.0mmol/L的浓度范围内,传感器的响应时间为10s;灵敏度为14.6nA/(mmol/L),相关系数为0.999。 相似文献
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从电极材料、绝缘材料、薄膜的图形化等方面,评述了微纳加工技术在单超微电极和超微电极阵列制备中的应用。在单超微电极的制备中,随着微纳加工技术的引入,可以实现具有规则几何形状和微小电极尖端的单超微电极的重复性制备。 相似文献
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针对神光Ⅲ主机装置真空靶室系统横向刚度较弱、必须进行现场精密加工和安装等研制中的技术难题,对真空靶室组件的结构和整体加工工艺进行了设计。结合靶场总体稳定性设计思路,设计了垂直支撑结构和能提供摩擦阻尼耗能的横向支撑结构,并对壁厚进行了优化设计。通过使用开孔器、六维调节结构和激光跟踪仪,设计修配调整垫等,解决了现场精密加工问题,实现了靶室与靶场基准体系的精密对接。计算结果表明,48束打靶透镜平均平动位移均方根值为2.8 m。建成后,靶室中心高度偏差为0.12 mm,水平偏差达到0.18 mm,各重要联接法兰对心偏差达到0.35~0.40 mm。 相似文献
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微电极具有常规电极无法比拟的优良的电化学特性[1,2].它包括单微电极和微电极阵列, 其中单微电极的整体尺寸小, 可用于微区分析研究. 目前微盘电极的工艺改善目标主要包括: 电极整体尺寸小、 电极材料和绝缘层之间的粘附性高及电极具有明确的和可重复的形状和尺寸等[3]方面. 相似文献
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超微电极具有常规电极无法比拟的优良的电化学特性.超微电极包括单超微电极和超微电极阵列,单超微电极响应电流较小,一般仪器难以检测;而超微电极阵列除具有单超微电极的特点外,还能增加测量时的响应电流,有利于仪器检测.其中的叉指型超微带电极阵列(IDA)具有产生-收集效应,可提高检测的灵敏度,实现低浓度测量[1~4].将微电子技术和微细加工技术应用于化学和生物传感技术已引起关注,利用微细加工技术可以实现传感器的微型化、集成化和智能化;减少测量使用的样品量;使传感器的敏感元件具有确定的形状和尺寸,提高测量结果的一致性.本文用多… 相似文献
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