等离子体聚合四丁基锡薄膜的制备和结构

研究了Ａｒ和Ａｒ／Ｏ＿２混合气携带四丁基锡的等离子体聚合规律和膜的组成、结构，分别得到低碳氢含量的金属Ｓｎ和ＳｎＯ＿ｘ共混膜。