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利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术对在蓝宝石衬底上用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长的Al组分含量为0.63的AlGaN外延膜进行晶格参数的精确计算.通过对Al0.63Ga0.37N的对称晶面和非对称晶面进行ω/2θ扫描,以及对零点误差和晶面间距的修正,能够计算得到六方晶系Al0.63Ga0.37N外延膜的水平晶格常数a和垂直晶格常数c分别为0.31301 nm和0.50596 nm.通过对各种影响因素的分析和校正,可以得出二者的测量偏差分别为0.00001 nm和0.00002 nm. 相似文献
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采用本体聚合法制备沥青改性聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)块体,研究了热辐射通量对其热释放速率平均值、质量损失速率平均值、点燃时间、CO及CO_2产率的影响。结果表明,添加沥青的PMMA点燃后300 s内平均热释放速率由569 kW/m~2降低到了525 kW/m~2,沥青使其燃烧更加平稳;沥青改性PMMA的平均热释放速率、质量损失速率和CO产率与热辐射通量成线性递增关系;点燃时间随着辐射通量的增加而呈指数衰减趋势;CO_2产率在热辐射通量低于40 kW/m~2时基本不变,高于40 kW/m~2时呈线性递增。添加沥青之后PMMA能够平稳燃烧使其可以作为锥形量热仪标准物质候选物,得到的燃烧特性与热辐射通量的函数关系式为其不确定度评估提供了依据。 相似文献
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采用金属有机化合物气相淀积法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长一层 大约20 nm厚的AlN缓冲层, 在缓冲层上生长大约2 μm厚、 晶体质量良好的AlxGa1-xN外延层, 通过深紫外光致发光法测量发光峰的能量Eg 判断外延层中铝含量的均匀性, 取样品均匀性良好的氮铝镓外延片进行卢瑟福背散射(RBS)实验, 通过两个高能离子束实验室分别进行RBS随机谱分析, 每个实验室测量六个样品, 由分析软件拟合随机谱获得外延层中的xAl. 并对样品的均匀性、堆积校准、计数统计、散射角、离子束能量与阻止截面 等影响测量结果准确性的不确定度来源进行分析. 结果表明, 采用入射离子4He, 能量为2000 keV, 散射角为165° 时, 氮铝镓外延片中铝含量(x=0.8) 的测量不确定度为2.0%, 包含扩展因子k=2.
关键词:
氮铝镓
卢瑟福背散射
测量不确定度
金属有机化合物气相淀积法 相似文献
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利用气相色谱法检测黑色PMMA完全燃烧烟气中的常量二氧化碳和微量一氧化碳,建立了双气路双检测器的检测方法。恒定色谱柱温度,通过定量管进样,Poropak T色谱柱预分离后,采用阀切换及柱反吹技术使不同组分分别流入5A分子筛色谱柱和Poropak N色谱柱中。5A分子筛色谱柱用于分离一氧化碳,经Ni催化甲烷化转化后用FID检测器测定;Poropak N色谱柱分离二氧化碳后进入电导检测器测定。采用峰面积法建立标准曲线,一氧化碳和二氧化碳的线性相关系数分别为0.999 9和0.999 6。用该法测定标准气体,其测定值与标准值的相对误差小于2%,测定结果的相对标准偏差小于1%。该方法可用于烟气毒性的分析。 相似文献
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