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光敏树脂分子量的多分散性对光刻胶性能有极大影响。聚乙烯醇肉桂酸酯是国内外最早和最广泛用于光刻工艺的光敏树脂,然而过去由于对其分子量的分散性注意不够,所制得之光刻胶不能适应更高要求,特别是大规模集成电路的光刻。但是我们将聚乙烯醇经分级精制,使其分子量分在范围大大缩小,平均聚合度由原来的1750提高到1911,并用热法进行酯化反应,制得聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶,其分辨率、抗蚀性和感光性大大改善,能达到或超过日本 OSR 光刻胶的水平,并有效地防止冻胶,质量优越。因此,它能在大规模集成电路中得到应用。我们认为高聚物的分 相似文献
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