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高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项"卡脖子"关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd18+—Gd27+离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd14+—Gd17+离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时...  相似文献   
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This review article covers the growth and characterization of two-dimensional (2D) crystals of transition metal chalcogenides, h-BN, graphene, etc. The chemical vapor transport method for bulk single crystal growth is discussed in detail. Top-down methods like mechanical and liquid exfoliation and bottom-up methods like chemical vapor deposition and molecular beam epitaxy for mono/few-layer growth are described. The optimal characterization techniques such as optical, atomic force, scanning electron, and Raman spectroscopy for identification of mono/few-layer(s) of the 2D crystals are discussed. In addition, a survey was done for the application of 2D crystals for both creation and deterministic transfer of single-photon sources and photovoltaic systems. Finally, the application of plasmonic nanoantenna was proposed for enhanced solar-to-electrical energy conversion and faster/brighter quantum communication devices.  相似文献   
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Abstract

Enlightened by the Caputo fractional derivative, the present study deals with a novel mathematical model of generalized thermoelasticity to investigate the transient phenomena due to the influence of magnetic field and moving heat source in a rod in the context of three-phase lag (TPL) theory of thermoelasticity. Both ends of the rod are fixed and heat insulated. Employing Laplace transform as a tool, the problem has been transformed into the space-domain and solved analytically. Finally, solutions in the real-time domain are obtained by applying the inverse Laplace transform. Numerical calculation for stress, displacement, and temperature within the rod is carried out and displayed graphically. The effect of moving heat source speed on temperature, stress, and temperature is studied. It is found from the distributions that the temperature, thermally induced displacement and stress of the rod are found to decrease at large source speed. For the better understanding of the effect of moving heat source on all the distributions, three animations are added.  相似文献   
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In this paper, we consider an elastic beam equation with delay, source term, and boundary conditions together with some suitable initial data. Using the Faedo-Galerkin approximation and some estimates, we get the local existence of solution. Moreover, we obtain the finite time blow-up of solution by constructing suitable Lyapunov functionals.  相似文献   
10.
层状稀土氢氧化物是一类新型的稀土功能材料,本文采用固体核磁共振(SSNMR)方法研究了同时具备离子交换能力和非线性光学特性的层状La(OH)2NO3化合物,探讨了通过四极核CPMG(QCPMG)脉冲序列和变频谱图采集获取超宽139La SSNMR谱图的方法,并描述了适用于此类实验的滤波方程和谱图重建方法.重建谱图同时包含四极核中心跃迁和卫星跃迁信息,本文使用QUEST软件对超宽139La NMR谱图进行了模拟,获取的四极耦合常数CQ和非对称因子ηQ均与CASTEP密度泛函理论计算值高度吻合.SSNMR实验结果证实层状La(OH)2NO3化合物属于非中心对称结构(P21),解决了对其结构长期以来存在的争论.  相似文献   
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