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1.
高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项"卡脖子"关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd18+—Gd27+离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd14+—Gd17+离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时...  相似文献   
2.
3.
In this paper, a quantum cascade laser (QCL) design is proposed based on GaAs/AlGaAs material system, which simultaneously operates at three widely separated wavelengths (λ1=11.1μm,λ2=14.1μm and λTHz=60μm). In the design, all the wavelength radiations are achieved by the engineering of the electronic spectrum via the quantum-well widths and the applied electric field in a single active region within a same waveguide. The mid-infrared (mid-IR) wavelengths are obtained by adoption a dual-upper-state active region, and the proposed design aims to use both the mid-IR radiations as the coherent deriving fields to populate the upper THz lasing state to aid the THz-laser population inversion via optical pumping instead of direct electrical injection. A detailed analysis of electronic transport in the structure is carried out using a multi-level rate-equation model. The results show that the proposed structure offers an alternative approach to room temperature THz generation in QCLs.  相似文献   
4.
5.
Xiao-Qin Liu 《中国物理 B》2022,31(11):114205-114205
Yb3+:CaF2-YF3 transparent ceramics with excellent optical quality was successfully fabricated by hot-pressed method. Pulsed laser properties of this ceramics were investigated for the first time. Laser diode (LD) was applied as the pump source to generate a dual-wavelength mode-locked (ML) laser. The maximum average output power was 310 mW, which represents the highest output power of ultrafast calcium fluoride ceramic laser. The spectrum separated at 1048.9 nm and 1049.7 nm with a total pulse duration of 8.9 ps. The interval period between the beating signals was about 4.3 ps, corresponding to a 0.23 THz beat pulse repetition rate. These results demonstrate its potential in producing dual-wavelength ultrashort pulses. These Yb3+:CaF2-YF3 ceramics with low-cost and short-preparation period are ideal candidate materials for ultrafast lasers.  相似文献   
6.
In this article, a way to employ the diffusion approximation to model interplay between TCP and UDP flows is presented. In order to control traffic congestion, an environment of IP routers applying AQM (Active Queue Management) algorithms has been introduced. Furthermore, the impact of the fractional controller PIγ and its parameters on the transport protocols is investigated. The controller has been elaborated in accordance with the control theory. The TCP and UDP flows are transmitted simultaneously and are mutually independent. Only the TCP is controlled by the AQM algorithm. Our diffusion model allows a single TCP or UDP flow to start or end at any time, which distinguishes it from those previously described in the literature.  相似文献   
7.
8.
9.
《中国物理 B》2021,30(5):56501-056501
Thermal expansion control is always an obstructive factor and challenging in high precision engineering field. Here,the negative thermal expansion of Nb F_3 and Nb OF_2 was predicted by first-principles calculation with density functional theory and the quasi-harmonic approximation(QHA). We studied the total charge density, thermal vibration, and lattice dynamic to investigate the thermal expansion mechanism. We found that the presence of O induced the relatively strong covalent bond in Nb OF_2, thus weakening the transverse vibration of F and O in Nb OF_2, compared with the case of Nb F_3.In this study, we proposed a way to tailor negative thermal expansion of metal fluorides by introducing the oxygen atoms.The present work not only predicts two NTE compounds, but also provides an insight on thermal expansion control by designing chemical bond type.  相似文献   
10.
将一种人工合成的无机聚合物——蒙脱石皂石黏土(smectite,Sm)应用于基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱分析(matrix-assisted laser desorption/ionization time of flight mass spectrometry, MALDI-TOF-MS),以检测糖类化合物。 将传统的有机基质2,4,6-三羟基苯乙酮(trihydroxyacetophenone, THAP)与阳离子交换后的皂石黏土混合制备成新型复合基质,应用于糖类化合物的检测。通过比较不同的制样方法,测定不同分子直径的糖类化合物,发现由于受复合基质晶面间距的限制,只有小分子糖类化合物能进入晶面间隙充分接触有机基质并被离子化,从而实现对小分子糖类化合物的选择性检测。  相似文献   
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