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1.
四激光束干涉光刻制造纳米级孔阵的理论分析   总被引:9,自引:5,他引:4       下载免费PDF全文
张锦  冯伯儒  郭永康 《光子学报》2003,32(4):398-401
为提供一个在大范围内曝光出深亚微米甚至纳米级周期性密集图形的廉价的方法,研究了四激光束干涉光刻的原理,分析了干涉曝光的结果,并进行了计算机模拟.用现有的光源,如442 nm、365 nm、248 nm、193 nm激光,曝光得到的图形的临界尺寸容易做到180~70 nm.具有实际上无限制的焦深和容易实现的大视场.适合硅基CCDs、平场显示器的场发射电极阵列等光电子器件中大范围内超亚微米级的周期性孔阵或点阵结构图形的制作.  相似文献
2.
激光动态角度测量系统研究   总被引:6,自引:3,他引:3       下载免费PDF全文
本文介绍了-种可以动态测量角度的激光测试系统。其测角分辨率为0.0025°;测角范围为±45°;测角速度为100°/s.  相似文献
3.
平面调制靶的表面起伏图形研制   总被引:5,自引:2,他引:3       下载免费PDF全文
 表面起伏靶是惯性约束聚变(ICF)分解实验中的重要实验用靶。本文报导了采用离子束刻蚀和激光干涉两种方法制备初始微扰振幅和波长分别在几微米和几十微米范围的正弦调制形状;摸索了相应的工艺条件和工艺过程;用台阶仪及光学显微轮廓仪测微加工后的形貌;探讨了调制波长的精确控制与干涉工艺之间的关系。  相似文献
4.
单频偏振激光干涉仪中波片对非线性误差的影响   总被引:3,自引:1,他引:2  
研究了用于纳米测量的激光干涉仪中光学波片对非线性误差的影响,基于琼斯矩阵理论建立了多波片的误差分析模型,分析了λ/2和λ/4波片引起的干涉仪非线性误差,对波片位置引起的非线性误差进行了实验研究。结果表明,波片位置调整精度对干涉仪测量影响巨大,在0~5°范围内,λ/2波片和λ/4波片引起的非线性误差分别为6.5nm和9.5nm。上述研究结果为单频偏振激光干涉仪光路调整及非线性误差的补偿提供了参考。  相似文献
5.
干涉亮条纹强度的不均匀分布   总被引:3,自引:3,他引:0       下载免费PDF全文
建立了低频液体表面声波的激光干涉测量系统,实验上不仅得到了清晰、稳定的干涉条纹,而且首次发现干涉条纹的强度分布具有空间不均匀性,干涉条纹被限定在一定的空间区域内,中心干涉条纹强度最小,向两边强度逐渐增大,在两边界位置达到极大.根据波动光学原理,得到了干涉条纹分布的解析表达式,并给出了低频表面波振幅、波长与干涉条纹空间限度、干涉条纹间距的数学表达式.理论规律与实验结果吻合较好.  相似文献
6.
激光干涉法测压电陶瓷的压电常数d31   总被引:2,自引:2,他引:0  
介绍迈克尔逊干涉仪原理在测微小位移中的应用。确定一种锆钛酸铅镧压电陶瓷的压电常数d31,得到了一种测d31的可行可靠的新方法。  相似文献
7.
飞秒激光相干场诱导材料功能微结构   总被引:2,自引:0,他引:2  
赵全忠  邱建荣 《物理》2005,34(9):660-665
飞秒激光在整个脉冲宽度内具有极好的相干性,因而当从同一光束分出的两束或两束以上的光束时间与空间上实现相互叠加时将会形成强度周期性调制的电磁场.这种周期调制的电磁场与材料产生相互作用,能诱导出相应的周期微结构.最近通过两束或两束以上飞秒激光干涉诱导功能微结构得到了广泛研究.文章综合了国内外飞秒激光研究小组在干涉诱导微结构方面的一些最新成果以及作者在这方面开展的工作,对飞秒激光干涉技术的原理及其在诱导微结构方面的应用进行了介绍.  相似文献
8.
平面波导阵列布喇格光栅及其光辐照制作方法   总被引:2,自引:2,他引:0       下载免费PDF全文
杨德兴  张鹏  赵建林  苏坤 《光子学报》2004,33(12):1432-1435
本文提出了一种新的平面波导阵列布喇格光栅结构,并给出了在光敏感材料中制作这种波导光栅结构的全息光辐照方法.以LiNbO3:Fe晶体作为光敏感材料,用不同空间频率的双光束干涉条纹辐照后,通过数字全息技术对晶体的光致折射率分布测量和进行的导波衍射测试结果表明,利用这种光辐照方法在光敏感材料中制作平面波导阵列全息布喇格光栅是完全可行的.其显著的导波衍射现象表明,如果在平面波导阵列中制作多重布喇格光栅,有可能使其成为超密集波分复用(UDWDM)系统中波长复用/解复用的核心器件.  相似文献
9.
利用激光干涉测钢丝的杨氏弹性模量   总被引:2,自引:0,他引:2  
花世群 《光学技术》2002,28(2):183-184
分析了在洛埃镜干涉装置中等效双狭缝间距变化对干涉条纹密度的影响。导出了钢丝因受力引起的绝对伸长量与干涉条纹密度变化之间的关系 ,并通过它计算了钢丝的杨氏弹性模量。结果表明 ,激光干涉法不仅比光杠杆法测量的量要少 ,而且用该方法通过测微目镜测条纹的位置要比光杠杆法通过望远镜对标尺读数精确 ,其测量结果要比光杠杆法更准确可靠  相似文献
10.
连续激光辐照ZnSe/MgF2/K9滤光片的透射特性研究   总被引:2,自引:2,他引:0       下载免费PDF全文
 分析了连续激光辐照ZnSe/MgF2/K9滤光片引起透射特性的变化。在室温条件下,用波长0.632 8μm激光作为探测光束,测量了1.06μm连续激光辐照ZnSe/MgF2/K9滤光片温升引起薄膜折射率的改变,导致探测光束通过干涉滤光片后透过率的热致非线性变化。在光斑直径0.75mm条件下,测量了不同功率激光辐照ZnSe/MgF2/K9滤光片引起温升随时间的变化。在激光功率30W,辐照时间2.52s条件下,实验观测到ZnSe/MgF2/K9滤光片薄膜破坏温度约为90℃,辐照时间10s时干涉滤光片形成的薄膜龟裂形貌。  相似文献
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