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1.
2.
绿色环保化学机械抛光液的研究进展   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
原子级加工制造是实现半导体晶圆原子尺度超光滑表面的有效途径.作为大尺寸高精密功能材料的原子级表面制造的重要加工手段之一,化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)凭借化学腐蚀和机械磨削的耦合协同作用,成为实现先进材料或器件超光滑无损伤表面平坦化加工的关键技术,在航空、航天、微电子等众多领域得到了广泛应用.然而,为了实现原子层级超滑表面的制备,CMP工艺中常采用的化学腐蚀和机械磨削方法需要使用具有强烈腐蚀性和高毒性的危险化学品,对生态系统产生了不可逆转的危害.因此,本文以绿色环保高性能抛光液作为对象,对加工原子量级表面所采用的化学添加剂进行分类总结,详尽分析在CMP过程中化学添加剂对材料表面性质调制的作用机理,为在原子级尺度下改善表面性质提供可参考的依据.最后,提出了CMP抛光液在原子级加工研究中面临的挑战,并对未来抛光液发展方向作出了展望,这对原子尺度表面精度的进一步提升具有深远的现实意义.  相似文献   
3.
本文通过固结磨料球与KDP晶体对磨的单因素试验探究固结磨料球中反应物种类、磨粒浓度、反应物浓度、基体硬度对摩擦系数、磨痕截面积和磨痕处粗糙度的影响,试验结果表明:KHCO3固结磨料球对磨后磨痕对称性好,磨痕处的粗糙度值低;磨痕截面积随磨粒和反应物浓度的增加而增大,随基体硬度的增大而降低;磨痕处粗糙度随磨粒和反应物浓度的增加先降低后上升,随基体硬度的增大先上升后降低;摩擦系数受磨粒和反应物浓度影响不明显,随基体硬度的增大而降低。选择KHCO3作为反应物,Ⅰ基体,磨粒浓度为基体质量的100%,反应物浓度为15%制备固结磨料球与KDP晶体对磨后的磨痕轮廓对称度好且磨痕处粗糙度值低,以该组分制备固结磨料垫干式抛光KDP晶体,可实现晶体表面粗糙度Sa值为18.50 nm,材料去除率为130 nm/min的高效精密加工。  相似文献   
4.
考察了不同加工干燥方法对杜仲整体代谢产物的影响。分别制备新鲜杜仲、堆置“发汗”、烫泡“发汗”和阴干杜仲样品,进行超高效液相色谱-串联质谱代谢组学分析。通过主成分分析(PCA)、正交偏最小二乘法判别分析(OPLS-DA)等多元统计分析方法,筛选出不同加工干燥方法下杜仲的差异代谢物,比较其相对含量。结果显示,4个组的杜仲样品在PCA得分图中可明显区分。与新鲜杜仲相比,杜仲加工干燥后有170种以上的代谢物发生显著变化,其中超过80%的代谢物表达上调。3种加工干燥方法之间,堆置“发汗”杜仲的上调代谢物数量较多,且有利于木脂素和香豆素类、环烯醚萜类、醌类成分的合成;阴干有利于酚酸类成分的保留,烫泡“发汗”则有利于黄酮类成分的保留。通过比较不同加工干燥方法下杜仲的差异代谢物,为探究杜仲药材的品质形成机制及优选其加工方法提供了科学依据。  相似文献   
5.
杨航  马登秋  张强  刘小雍  樊炜  张云飞  黄文  何建国 《强激光与粒子束》2019,31(6):062002-1-062002-7
随着特种超精密加工技术的发展,复杂流体被越来越多地用于超精密加工工艺中。超精密加工流场分析具有几何特征复杂、流体本构特性多样、流体边界为自有边界等特点,传统流体数值分析方法难以实现可靠分析。从流体的一般特性出发,将D. G. Christopherson提出的非负二阶偏微分系统的超松弛迭代方法用于超精密加工流场分析,建立了适应性与可靠性兼顾的流场分析方法。以磁流变抛光为例,开展了抛光区域压力场数值计算,结果表明所得压力分布形态正确,且分布从x轴正半轴延伸到负半轴,与郑立功等人的实验测定结果一致。另外,基于Kistler力传感器对磁流变抛光过程的法向压力在0.1~0.3 mm浸深段进行了在位测量,发现计算与实验结果偏差均小于20%。表明了该方法的有效性与准确性。  相似文献   
6.
采用飞秒激光加工技术在YT15硬质合金表面制备三角沟槽形微织构,按照面积占有率分别为5.05%、9.5%、13.02%和15.2%,制备出四种不同试样,并在MMG-10多功能摩擦磨损试验机上对织构化YT15硬质合金表面的摩擦副进行不同面积占有率下的对比试验,借助扫描电子显微镜分析工作表面的显微结构及形貌,进一步探究微织构致密度对工作表面摩擦磨损性能的影响.结果表明:相比于未织构化试件,具有一定面积占有率的三角沟槽形微织构有助于提高YT15硬质合金表面的摩擦性能,且面积占有率为9.5%时所产生的流体动压润滑效果最为显著.  相似文献   
7.
目的 了解鄞州区0~6月龄婴儿发育性髋关节异常(developmental dysplasia of hip,DDH)的流行病学特征,探讨DDH 的临床管理模式。方法 由鄞州区妇幼保健机构社区医师和鄞州区第二医院围生医生共同负责完成DDH 的临床初筛工作,可疑或异常者转儿科进一步检查,并予B 超筛查,对不同人群分别进行早期干预、复查、随访及骨盆正位X 线片检查,必要时转小儿骨科治疗。结果 2012 年5 月至2013 年5 月,共6 890 例0~6月龄婴儿进行髋关节B 超筛查,初筛阳性率5.73%(395/6 890),复查阳性率0.59%(34/5729);月龄越小筛查阳性率越高,差异有统计学意义(P<0.05)。新生儿及1~3月龄婴儿初筛阳性率高,但复查阳性率明显降低,差异有统计学意义(P<0.05);4~6月龄婴儿初筛及复查阳性率差异无统计学意义(P >0.05)。结论 鄞州区采取的社区门诊检查- 区医院儿科复查-B 超筛查及转诊治疗的管理模式,可作为基层推进DDH 的早发现和早治疗的有效手段。  相似文献   
8.
应用超声波检测技术进行检测时,通常需对超声波在介质中的传播时间进行精准的测量,为精准测量超声波的传播时间,设计了一套基于ARM的嵌入式超声传播时间测量装置。该装置电路运行稳定,成本低廉,采用多次测量结果取算数平均值的方法以减小随机干扰,采用参比方法放置接收探头以消减电路中电子器件的延时。通过对实验结果进行分析,得出该装置可精准测量超声波在实验试块中的传播时间且满足设计要求,分辨率可达一纳秒。  相似文献   
9.
煤岩吸附解吸性能评价对煤层气的开发十分重要。利用自行设计的煤岩吸附解吸性能评价装置,进行了CH4、CO2、N2等在煤岩中的吸附解吸性能评价。在此基础上,研究了不同参数超声波处理对煤层气解吸效果的影响,分析了超声波促进煤层气解吸的机理。研究表明,煤岩中的气体主要以吸附态和自由态存在,煤岩对不同气体吸附量从大到小依次为CO2、CH4、N2。经超声波处理后,煤层气的解吸速度可提高70%,同时煤层气的解吸量增加。解吸量增加幅度与超声波处理参数有关,随处理功率的增大,解吸量增加,增加幅度可达20%。分析认为超声波的"剥离"作用是超声波提高煤层气解吸效果的机理之一。  相似文献   
10.
《发光学报》2015,(1):44
《光学精密工程》是中国仪器仪表学会一级学术期刊,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所主办,科学出版社出版。由国内外著名科学家任顾问,陈星旦院士任编委会主任,青年科学家曹健林博士担任主编。《光学精密工程》坚持学术品位,集中报道国内外现代应用光学、光学工程技术、光电工程和精密机械、光学材料、微纳科学与技术、医用光学、先进加工制造技术、信息与控制、计算机应用以及有关交叉学科等方面的最新理论研究、科研  相似文献   
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