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3.
4.
随着半导体集成度的不断提高,铜互连线的电阻率迅速提高。当互连线宽度接近7 nm时,铜互连线的电阻率与钴接近。IBM和美国半导体公司(ASE)已经使用金属钴取代铜作为下一代互连线材料。然而,钴种子层的形成和超级电镀钴填充7 nm微孔的技术工艺仍是一个很大的挑战。化学镀是在绝缘体表面形成金属种子层的一种非常简单的方法, 通过超级化学镀填充方式, 直径为几纳米的盲孔可以无空洞和无缝隙的方式完全填充。本文综述了化学镀钴的研究进展,并分析了还原剂种类对化学镀钴沉积速率和镀膜质量的影响。同时, 在长期从事超级化学填充研究的基础上, 作者提出了通过超级化学镀钴技术填充7 nm以及一下微盲孔的钴互连线工艺。 相似文献
5.
本文以有机朗肯循环(ORC)跨临界与亚临界工质换热特性最新研究成果为基础,采用热力学指标热源回收效率,以及经济学中的净现值(NPV)概念,结合换热面积分析,建立了考虑实际换热情况的热力学及经济性模型,更合理、更全面地对亚临界循环与跨临界循环的热力学性能和经济性进行了统一分析,为工程实际中亚临界和跨临界的选择提供了参考。本文结果表明,当综合考虑换热器面积、NPV等经济性指标时,跨临界循环在单纯的热力学分析中所展现的高于亚临界的优势减少。针对工业余热,系统的优化区间覆盖跨临界与亚临界,为P/Pc=0.82~1.30,T3=103~147℃,其热源回收效率可达61%,经济效益较高,且对透平入口温度、压力的变化不敏感,能容纳一定的参数波动。对比使用不同换热关联式,使用专门针对有机工质发展的换热关联式计算得到的循环优化区间发生了改变,由此可见,开展对ORC工质的换热特性研究,发展更加准确的换热关联式是完善系统优化的重要途径。 相似文献
6.
从课堂教学层面而言,“共生理念”下的课堂教学应与现实生活紧密联系,让学生体会到数学源于生活、用于生活;应围绕学生的最近发展区,确定学生合理的生长点,让学生在学习过程中不断积累生长的经验;应培养学生的科学精神和创新意识,让学生的精神在课堂中升华.本文以“探索直线平行的条件(第1课时)”为例,说明这种理念的实践应用与思考. 相似文献
7.
以2-肟基丙烷酰肼缩2-羟基萘甲醛席夫碱(H2L)为主配体,乙酰丙酮(Hacac)为辅配体,构筑了一例双核稀土镝配合物[Dy2(L)2(acac)2(CH3CH2OH)2](1)。通过单晶X射线衍射、元素分析以及磁性测试对其结构和磁行为进行了表征。结构分析表明,配合物1是一个结构呈中心对称的双核镝(Ⅲ)配合物,其结构的最小不对称单元包含1个Dy(Ⅲ)离子,1个L2-配体,1个acac-配体和1个乙醇分子;中心Dy(Ⅲ)离子为八配位,其配位构型为扭曲的双帽三棱柱。磁性研究结果表明,配合物1中Dy(Ⅲ)离子间存在弱的反铁磁相互作用,且该配合物表现出了慢磁弛豫行为,其磁弛豫有效能垒为14.52 K,指前因子τ0为7.58×10-6 s。 相似文献
8.
For any C;diffeomorphism on a smooth compact Riemannian manifold that admits an ergodic measure with positive entropy,a lower bound of the Hausdorff dimension for the local stable and unstable sets is given in terms of the measure-theoretic entropy and the maximal Lyapunov exponent.The main line of our approach to this result is under the setting of topological dynamical systems,which is also applicable to infinite-dimensional C;dynamical systems. 相似文献
9.
晶体铋沿(111)面方向的双原子层及薄膜具有新奇的拓扑性质.在实验生长或者实际应用中,其必然与衬底接触.本文采用紧束缚近似方法与第一性原理计算研究了Bi双原子层及其与Bi2Te3和Al2O3衬底形成的异质结的电子结构.计算结果表明, Bi双层是具有0.2 eV的半导体.当其与具有拓扑表面态的Bi2Te3形成异质结时,两者电子态之间有很强的杂化,不利于Bi(111)双层拓扑电子态的观测.将其放在绝缘体Al2O3(0001)时,导带与价带与衬底电子态杂化较小,并且展现出巨大的Rashba自旋劈裂.这是由于衬底诱导Bi(111)双原子层中心反演对称性破缺和自旋-轨道耦合共同作用的结果.进一步采用紧束缚近似计算得到的结果发现,衬底Al2O3(0001)对Bi(111)双层的作用等效于一个约为0.5—0.6 V/?(1?=0.1 nm)的外电场.此外, Bi(111)双原子层与衬... 相似文献
10.
可见与近红外波段光谱反射率数据库是颜色科学与技术和遥感目标地物分类识别领域等研究与应用的基础数据。主成分分析(PCA)在光谱数据分析、光谱重建、高光谱数据降维以及遥感图像分类等方面有广泛应用。测量并建立了云南公园常见绿化植物柳树、樟、红花檵木、蓝花楹等48种植物150条叶片从可见光到近红外波段光谱反射率数据库,波长范围400~1 000 nm、间隔4 nm。并且分别对可见与可见到近红外两种波段范围进行PCA研究。结果表明:不同植物叶片按照红、绿、黄相同色相的光谱反射率曲线基本相似;但对于同一种植物,在可见光波段400~700 nm,因为体内叶绿素、叶黄素、叶红素和花青苷含量的不同,光谱反射率曲线有较大的差异;在近红外波段700~1 000 nm,所有植物叶片光谱反射率仅仅是大小不同,而同一植物光谱反射率基本不随波长变化。PCA分析表明:在可见光和可见与近红外波段前三个主成分的累积贡献率分别达到98.62%和94.97%。数据库及其PCA分析结果将为自然物体光谱重建、多光谱成像技术和遥感目标地物分类识别等领域应用提供支撑。 相似文献