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1.
真空退火对氟化非晶碳薄膜结构的影响   总被引:7,自引:0,他引:7       下载免费PDF全文
黄峰  程珊华  宁兆元  杨慎东  叶超 《物理学报》2002,51(6):1383-1387
在苯(C6H6)和四氟化碳(CF4)混合气体中,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术(ECRCVD)在不同功率下制备了氟化非晶碳膜(aC:F),为了检测膜的热稳定性对其进行了真空退火处理,测量了退火前后膜厚的变化率,并用傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR)研究了其结构的变化.结果表明,膜厚变化率与沉积功率有关;400℃退火后低功率下沉积的膜的结构变化显著,高功率下沉积的膜则呈现了较好的热稳定性.  相似文献
2.
3.
退火对FeMn钉扎自旋阀性质的影响   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
通过对退火后FeMn钉扎自旋阀磁性的研究表明,真空退火对自旋阀的性质有影响.低于200℃的退火能有效的提高钉扎场;退火温度高于200℃时,自旋阀的钉扎场要下降,其他性能也恶化;在300℃时,钉扎场降为零,giantmagnetoresistance(GMR)现象消失.俄歇电子能谱仪(AES)的结果表明,在自旋阀多层膜中存在着晶界扩散  相似文献
4.
掺杂透明导电半导体薄膜的光电性能研究   总被引:3,自引:1,他引:2       下载免费PDF全文
掺杂氧化锌透明导电膜(AZO)是一种重要的光电子信息材料,其制备方法有真空蒸镀法、磁控溅射法,化学气相沉积和脉冲激光沉积法等。该文采用溶胶 凝胶(sol gel)工艺在普通玻璃基片上成功地制备出Al3+掺杂型ZnO透明导电薄膜。将这种薄膜在空气和真空中以不同的温度进行了退火处理,并对薄膜进行了XRD分析和光电性能研究。结果表明,所制备的薄膜为钎锌矿型结构,在c轴方向择优生长,真空退火有利于薄膜结晶状况的改善,并使薄膜的载流子浓度大幅度地增加而电阻率下降,并且真空退火对薄膜的透射率影响不大。  相似文献
5.
红外双波段激光滤光膜的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064 nm高反、3~5μm高透的红外双波段滤光膜。利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa。另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值。结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。  相似文献
6.
真空退火对Nd_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜结构和输运性影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文研究了真空退火对Nd0.7 Sr0.3 MnO3(NSMO)外延膜的结构和输运性的影响.X-射线衍射(XRD)和电阻率测量结果显示,随着退火温度的升高,NSMO薄膜单胞沿着c-轴方向拉长,电阻率随退火温度的升高而增大,同时金属-绝缘体转变温度(Tp)降低.上述结果归因于真空退火引起的氧缺失导致了Mn3+/Mn4+离子比例的增大及MnO6八面体的畸变.Kroger-vink的缺陷反应式定性的解释了氧缺失与输运性的关系.  相似文献
7.
采用石墨电阻加热的温梯法生长了V:YAG晶体,晶体的不同部位呈现两种不同的颜色:浅绿色和黄褐色.通过对比分析不同颜色V:YAG晶体的室温吸收光谱,推断出石墨发热体高温下扩散出来的C可以起到还原作用,提高晶体中V3+tetra离子的浓度,同时诱导了F心的形成.在1300℃下,对不同颜色的V:YAG晶体进行真空退火处理,发现处于八面体格位中的V3+离子在热激发作用下与近邻的四面体格位Al3+离子存在置换反应,由此产生一定浓度的四面体格位V3+离子.同时,F心在退火过程中被完全消除,释放出来的自由电子被高价态的V离子俘获,可以进一步提高晶体中四面体格位V3+离子的浓度.  相似文献
8.
本文采用真空退火的界面工程处理的方法,成功地制备了高温超导边缘结,并在8mm微波辐照下得到了Shapiro台阶。测量结果表明,该结的特性基本符合RSJ模型。  相似文献
9.
梁玲  顾牡  许伟群  陈玲燕 《发光学报》2002,23(6):619-622
从退火炉的整体构造,管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面,介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置,并针对典型的晶体退火过程,详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调度工作,通过不同气氛条件下对钨酸铅(PbWO4)的退火处理实验证实,这套装置能够满足晶体生长后期退火处理的实际需要。  相似文献
10.
采用石墨电阻加热的温梯法生长了V∶YAG晶体,晶体的不同部位呈现两种不同的颜色:浅绿色和黄褐色.通过对比分析不同颜色V∶YAG晶体的室温吸收光谱,推断出石墨发热体高温下扩散出来的C可以起到还原作用,提高晶体中V3+tetra离子的浓度,同时诱导了F心的形成.在1300℃下,对不同颜色的V∶YAG晶体进行真空退火处理,发现处于八面体格位中的V3+离子在热激发作用下与近邻的四面体格位Al3+离子存在置换反应,由此产生一定浓度的四面体格位V3+离子.同时,F心在退火过程中被完全消除,释放出来的自由电子被高价态的V离子俘获,可以进一步提高晶体中四面体格位V3+离子的浓度.  相似文献
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