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1.
高分辨的弹性反冲探测分析技术   总被引:2,自引:0,他引:2  
在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析技术,用高质量的127I重离子束轰击薄膜或块材靶样品,利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双向型双电离室ΔE-E望远镜探测器两套探测系统,在前角区测量了靶中各种元素的反冲能谱,利用卢瑟福散射截离子在靶材料中的阻止本领,将能谱转换成元素的深度分布,利用Q3D磁谱仪系统,对C和H等轻元素的分析得到纳米级的深度分频谱,用ΔE-E望远镜探测器可同时得到靶材料上从轻至中重各种元素的深度分布,其深度分辨率达0-30nm。  相似文献
2.
介绍在中国原子能科学研究院HI 13串列加速器上,对α Si1-xCx∶H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品质127I束流轰击α Si1-xCx∶H薄膜材料样品,用ΔE(gas) E(PSD)望远镜探测器,在前角区(30°角)测量从该样品中反冲的各元素的能谱.然后用离子束分析(IBA)程序SIMNRA对能谱进行拟合,得到样品中H,C和Si的比分及深度分布.  相似文献
3.
介绍在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上,对α-Si1-xCx:H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品质^127Ⅰ束流轰击α-Si1-xCx:H薄膜材料样品,用△E(gas)一E(PSD)望远镜探测器,在前角区(30。角)测量从该样品中反冲的各元素的能谱.然后用离子束分析(IBA)程序SIMNRA对能谱进行拟合,得到样品中H,C和Si的比分及深度分布.  相似文献
4.
在中国原子能科学研究院HI-13串旬加速器上建立了用Q3D磁谱仪动量分析和△E-E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术。用100MeV^127I对C/LiF多层样品的深度分布分析表明,表面分辨达到1.2nm。所建立的△E(气体)-E(半导体)望远镜探测器可同时分析从轻至中重的所有元素。实测了新光电材料GaN,La2sRcUO4超导膜和新超硬材料C3N4(Si)等样品。  相似文献
5.
利用2.0—2.5MeV 4He 的弹性反冲探测方法,测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布,并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率.  相似文献
6.
弹性反冲探测分析技术(ERDA)对轻元素的测定具有灵敏度高、包含深度信息的优势,因此在材料氦行为研究中发挥着重要作用。镍基哈氏N合金被认为是未来熔盐堆的结构材料,氦脆是其服役性能下降的主要因素之一。利用掠入射模式的ERDA,解析了哈氏N合金样品中的氦原子浓度及其分布,但仅局限于0~175 nm深度范围内。结果表明:在800℃的退火条件下,距离样品辐照表面~33 nm深度区域内,出现了氦原子逃逸现象。更高温度的退火(1 050℃)可加剧氦原子的逃逸,但样品中仍有氦原子滞留。另外,采用透射式的ERDA,极大地扩大了对氦原子分析的深度范围,得到了纯镍薄膜在0~950 nm深度区域内的氦原子浓度分布。这表明将块体材料制备成薄膜样品,利用透射模式的ERDA,将可以得到氦原子在更大范围内的扩散、逃逸行为。  相似文献
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