硅微ZnO压电薄膜传声器的研制

本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述。本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对于1V/Pa),500Hz到10000Hz的频率响应的平坦度在±3dB范围内。  

微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验

在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺.设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅.介绍了微型可编程光栅的基本工作原理及结构设汁特点.针对其最主要的一个光学参量--最大闪耀角,根据设汁的光栅结构尺寸进行了理论计算,并利用ANSYS有限元仿真结合Matlab软件的数据处理功能进行了数值模拟.没计并搭建了一个简单易操作的光学实验系统,对最大闪耀角进行了实际测量.结果表明.理论计算、数值模拟以及实际测量的最大闪耀角非常吻合,制作的微型可编程光栅的最大闪耀角超过5°.  

微机电系统与微加速度计

本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统，以及一种典型的微机电系统器件——微加速度计。  

SFM/SNOM结合的扫描探测显微镜

采用光纤探针的扫描近场光学显微镜 (SNOM)存在某些弱点 ,如探针特别脆 ,不易贴近样品表面扫描 ,探针的转输效率低等。近年来发展了将SFM /SNOM结合起来的扫描探测显微镜。利用微加工工艺技术 ,将小孔集成在悬臂探针中 ,使探针既能批量制备 ,又具有很好的重复性。探针悬臂在垂直于样品表面方向上的弹性常数较小 ,针尖不易损坏。在接触模式中利用这种SFM /SNOM组合探针可将样品的形貌像、摩擦力和光学透射像等信息同时记录下来。对于综合研究样品表面的介观性质十分有利。  

超薄形晶体零件加工新工艺

本文介绍了厚度为０．０５ｍｍ的偏硼酸钡（ＢＢＯ）超薄形晶体零件的加工新工艺，解决了零件在加工中易碎裂、变形及平行度难以控制等各种难题。应用这种新工艺加工了近２０片超薄形晶体，应用该晶体零件获得了超短脉宽激光的要求。  

电极形状与紫外探测器灵敏度关系的研究

在传统工艺的基础上，改变电极的形状可以提高氮化镓(GaN)基材料光导型紫外探测器的灵敏度.经过计算可知，虽然三棱形电极可以使探测器有效受光率提高100％，但工艺复杂，难以实现；而半圆柱形电极虽然使氮化镓薄膜有效受光率仅提高20％左右，但工艺简单，便于加工.  

斯特林制冷机薄壁气缸加工工艺研究

主要叙述斯特林制冷机中薄壁气缸的加工的工艺方法,加工过程的关键参数、刀具的选择、热处理的方法。提出薄壁件加工精度的技术途径。  

马铃薯深加工工艺废液化学絮凝研究

以钙盐、铝盐、铁盐及聚丙烯酰胺为絮凝剂在不同温度、不同pH等条件下对马铃薯深加工的废液进行化学絮凝。结果发现聚丙烯酰胺加聚合氯化铝絮凝的效果最好。CODCr能由15000mg/L降到5500mg/L,沉降率60%左右。SS能由9500mg/L降到1000mg/L,沉降率为90%左右。能达到进行生物絮凝的要求。  

基于改进BP网络的电火花加工工艺选择模型

电火花加工是基于工具与工件间脉冲性火花放电产生的电腐蚀现象来加工工件的，特别适用于复杂形状、特殊要求零件和难加工材料的加工。但是电火花加工r机理极其复杂，加工参数的选择在很大程度上取决于机床操作者的熟练程度，由于操作者的经验和知识所限，往往使电加工机床的性能和功能得不到充分发挥，甚至达不到加工要求。电火花加工所选取的工艺参数直接决定工艺效果，而工艺参数和工艺效果之间的关系异常复杂，解决工艺参数选择难的关键是建立一个合理有效的电火花加工选择模型，进而实现工艺参数的自动优化选取。  

U-6Nb合金机加过程中的塑性变形及其消除方法

国外早在20世纪80年代初就已发现U-6Nb合金在机械加工过程中的尺寸不稳定性问题，并认为该现象可能是由于该合金所具有的高密度孪晶、低屈服应力及热弹性马氏体相变等特性共同作用的结果。结合U-6Nb合金的组织结构、机械加工工艺及热处理工艺，探讨U-6Nb合金在机械加工过程中产生塑性变形的原因并利用其具有形状记忆效应这一特性，采用200℃时效的方法探索其变形的消除方法。