双激光脉冲打靶形成Gd等离子体的极紫外光谱辐射

高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项"卡脖子"关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd¹⁸⁺—Gd²⁷⁺离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd¹⁴⁺—Gd¹⁷⁺离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时...     

围压与径向荷载共同作用下巴西盘裂纹应力强度因子的解析解

利用权函数法推导了围压和径向荷载共同作用下，考虑裂纹面摩擦的预制裂纹巴西盘应力强度因子计算公式，从理论上分析了围压、径向荷载和裂纹面摩擦对巴西盘应力强度因子的影响。结果表明，围压对I型应力强度因子有很大影响，I型应力强度因子随围压的增大而减小。当裂纹面闭合后围压和摩擦系数对II型应力强度因子同样具有显著影响，考虑裂纹面有效剪应力的权函数法理论解与有限元数值解相吻合，表明理论分析的正确性。     

Vertically Grown Few-Layer MoS2 Nanosheets on Hierarchical Carbon Nanocages for Pseudocapacitive Lithium Storage with Ultrahigh-Rate Capability and Long-Term Recyclability

Molybdenum disulfide (MoS₂) is an intensively studied anode material for lithium-ion batteries (LIBs) owing to its high theoretical capacity, but it is still confronted by severe challenges of unsatisfactory rate capability and cycle life. Herein, few-layer MoS₂ nanosheets, vertically grown on hierarchical carbon nanocages (hCNC) by a facile hydrothermal method, introduce pseudocapacitive lithium storage owing to the highly exposed MoS₂ basal planes, enhanced conductivity, and facilitated electrolyte access arising from good hybridization with hCNC. Thus, the optimized MoS₂/hCNC exhibits reversible capacities of 1670 mAh g⁻¹ at 0.1 A g⁻¹ after 50 cycles, 621 mAh g⁻¹ at 5.0 A g⁻¹ after 500 cycles, and 196 mAh g⁻¹ at 50 A g⁻¹ after 2500 cycles, which are among the best for MoS₂-based anode materials. The specific power and specific energy, which can reach 16.1 kW and 252.8 Wh after 3000 cycles, respectively, indicate great potential in high-power and long-life LIBs. These findings suggest a promising strategy for exploring advanced anode materials with high reversible capacity, high-rate capability, and long-term recyclability.     

高压下L-丝氨酸的拉曼光谱研究

压力可以引起蛋白折叠与变性。作为蛋白质的基本构成单位，氨基酸在高压下的变化近来年备受关注。在常见的20种氨基酸中，学者们利用高压拉曼技术已研究了多种氨基酸在高压下的变化，研究的最高压力达到30 GPa。为了探究L-丝氨酸(C₃H₇NO₃)在极高压力下的结构变化情况，采用原位高压拉曼技术在常温下对L-丝氨酸晶体进行研究，最高压力达到22.6 GPa。研究发现，当压力达到2.7 GPa时，在102 cm-1处出现新峰，在1 123 cm-1(NH₃反对称摇摆振动)处的特征峰出现劈裂；当压力达到5.4 GPa时，L-丝氨酸晶体在574 cm-1处出现新峰，同时原来164 cm-1处峰消失；当压力达到6.0 GPa时，位于226，456，770和2 968 cm-1(CH₂伸缩振动)等处出现新峰，877 cm-1处的CC伸缩振动峰发生劈裂，产生894 cm-1新峰；当压力达到7.9 GPa时，在145，151和2 946 cm-1等出现新峰，同时原在CO₂摇摆振动峰的肩峰531 cm-1消失；当压力达到11.0 GPa时，位于249 cm-1处的振动峰开始劈叉，在241 cm-1处形成新峰，位于2 956 cm-1(CH₂伸缩振动)同时原位于391和431 cm-1处的峰消失；当压力达到17.5 GPa时，在200 cm-1处出现新峰。通过进一步分析L-丝氨酸的拉曼波数随压力的变化，发现很多拉曼峰在1.37，2.2，5.3，7.46和11.0 GPa以及15.5 GPa等压力点处都出现了拐点。其结果表明：L-丝氨酸在0.1～22.6 GPa之间共发生7处结构相变，分别位于压力区间0.1~1.37，2.2~2.7，5.3，6.0，7.46~7.9，10.1~11.0和15.5~17.5 GPa之间。而且，在6.0 GPa新的相变点在之前文献中未论述过。由于L-丝氨酸晶体在6.0 GPa时CC伸缩振动峰发生劈裂，这现象可能是由于压力引起L-丝氨酸晶体分子发生重排导致的，同时L-丝氨酸晶体分子重排导致氢键发生重排，使得L-丝氨酸晶体出现新的CH₂伸缩振动峰。L-丝氨酸晶体在10.1~11.0 GPa之间的拉曼光谱变化主要集中在低波数段，该波数段的拉曼振动模式主要与晶体晶格振动等低能量振动有关。同时在高波数段出现新的CH₂峰，由此可推测在10.1~11.0 GPa之间，L-丝氨酸晶体的晶格振动发生变化，产生了新的氢键，从而导致了L-丝氨酸晶体结构的改变。L-丝氨酸晶体在15.5~17.5 GPa之间，由于没有发现直接证据证明其发生结构相变，只是在拉曼波数随压力变化中，发现其在17.5 GPa时出现拐点，因此推测L-丝氨酸晶体在15.5~17.5 GPa之间可能发生结构相变。     

耐等离子刻蚀陶瓷的研究现状

等离子刻蚀技术是超大规模集成电路制备工艺中不可或缺加工技术.在半导体晶圆尺寸不断增大以及特征尺寸不断缩少的发展进程中,晶圆的污染问题越来越突出.而刻蚀机腔室材料作为晶圆的主要污染源之一,其耐等离子刻蚀性日益受到人们的关注.本文主要介绍耐等离子体刻蚀腔体材料的特性及目前国内外的研究与发展现状.     

Temperature and pH dual‐sensitive polyaspartamide derivatives for antitumor drug delivery

The pH‐sensitive tertiary amino groups were introduced to synthesize temperature and pH dual‐sensitive degradable polyaspartamide derivatives (phe/DEAE‐g‐PHPA) containing pendant aromatic structures and ionizable tertiary amino groups. The thermo/pH‐responsive behavior of phe/DEAE‐g‐PHPA polymer can be tuned by adjusting the graft copolymer composition. Due to the pH sensitivity of the phe/DEAE‐g‐PHPA‐g‐mPEG polymer with hydrophilic long PEG chain, the micelles and the anticancer drug‐loaded micelles were prepared by a quick pH‐changing method without using toxic organic solvent. The obtained polymeric micelles, paclitaxel‐loaded micelles and doxorubicin‐loaded micelles were stable under physiological conditions. Both the drug‐loaded micelles showed much faster release at pH 5 than at pH 7.4. The doxorubicin‐loaded micelles showed obvious and better anticancer activity against both HepG2 and HeLa cells than free doxorubicin. Thus these nontoxic, dual thermo‐ and pH‐sensitive phe/DEAE‐g‐PHPA‐g‐mPEG micelles may be a promising anticancer drug delivery system. © 2015 Wiley Periodicals, Inc. J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2016 , 54, 879–888