弹性表面波用LiTaO3晶体的生长

x-切112°y方向的LiT_2O_3晶体具有优良的SAW性能,特别适用于制作TV-PTF滤波器,是目前最好的基片材料之一.为了提供优质而经济的基片材料,用铂铑坩埚在N_2气氛中成功地生长了直径40—45mm,长度50—60mm的LiTaO_3晶体.D/D≈0.6,得料率达50％以上.本文对大直径LiTaO_3晶体生长的热场及工艺条件进行了探讨,并测试了所生长晶体的压电、介电、弹性常数和表面波性能.