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根据实际超声换能系统的振动测试,提出了热超声键合换能系统动力学特性的非线性检验方法,利用基于相空间重构的替代数据法,通过对换能杆末端的实测数据进行正确替代,并用非线性动力学的理论来检验其是否具有非线性.通过实验对超声换能杆末端轴向、俯仰、横向的振动时间序列的关联维数进行了准确的计算,从而清晰地描述了上述三个方向的动力学特性.所提出的方法有利于更好地认识超声键合换能系统,为建立更加合理的非线性动力学模型奠定良好的理论基础,有很好的应用价值.
关键词:
超声键合
时间序列
相位随机化
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