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热超声键合换能系统动力学特性的非线性检验   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
宋爱军  韩雷 《物理学报》2007,56(7):3820-3826
根据实际超声换能系统的振动测试,提出了热超声键合换能系统动力学特性的非线性检验方法,利用基于相空间重构的替代数据法,通过对换能杆末端的实测数据进行正确替代,并用非线性动力学的理论来检验其是否具有非线性.通过实验对超声换能杆末端轴向、俯仰、横向的振动时间序列的关联维数进行了准确的计算,从而清晰地描述了上述三个方向的动力学特性.所提出的方法有利于更好地认识超声键合换能系统,为建立更加合理的非线性动力学模型奠定良好的理论基础,有很好的应用价值. 关键词: 超声键合 时间序列 相位随机化 替代数据  相似文献   
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宋爱军  韩雷 《应用声学》2007,26(5):305-312
换能杆末端的振动情况对于超声键合机理的研究有着重要意义;换能杆末端的实际振动模式直接影响着芯片键合的质量。利用高精度非接触式激光多普勒测振仪采集了换能杆末端俯仰、水平、轴向振动速度,用相干函数方法分析了3个方向的相互耦合关系。分别对换能杆末端有未安装劈刀的情况做了比较,得出了在换能系统工作频率附近,换能杆末端轴向振速与水平、俯仰振速的相关程度。这对实际键合中,换能系统末端的劈刀安装长度的选择以及换能杆工作频率的选择有指导意义。  相似文献   
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