实用超高频ZnO薄膜换能器的研制

在进行凝聚态物质的声传输性质的研究工作中,声换能器是必不可少的关键器件.它是将石英片预先粘在延时棒上,使用通常的抛磨技术减薄,目前国内可以做到的工作基频为100MHz左右.为了获得较高效率的超高频体波换能器,作者在延时棒上制作了氧化锌(ZnO)薄膜换能器. ZnO单晶是6mm类晶体,在与其C轴垂直的平面内的电性是各向同性.C轴高度择优取向的多晶薄膜具有与单晶相近的性能.一般的薄膜淀积技术,如真空蒸发、化学蒸汽淀积(CVD)和溅射法都能在一定的基底上淀积出结构致密、压电性强的C轴垂直膜面的ZnO多晶薄膜. 我们使用磁控电极组成的直流…     

淀积氧化锌压电薄膜用的直流平面磁控溅射系统的性能

本文叙述了我们设计改装的直流平面磁控溅射系统和用以淀积氧化锌压电薄膜的性能。 给出了磁控电极的结构和磁场分布;测量了系统的放电特性和淀积速率与混合气体压力、靶的输入功率的关系及磁控电极淀积的氧化锌薄膜的厚度分布;提出了提高靶材利用率的简单方法。最后,给出了用此系统淀积的氧化锌薄膜及其体波实验器件的实验结果。     

菲涅耳阵在固体中所产生的声束聚焦和扫描特性

用固体表面上的菲涅耳换能器阵实现固体中声束的聚焦和扫描,它具有实用意义。本文将分别运用标量和矢量理论,分析菲涅耳阵在固体中产生的声束特性。理论与实验结果进行了比较。最后,基于射频频谱分析的角度,对聚焦束的建立时间和加权技术进行了研讨。 关键词：     

ZnO薄膜和薄膜声表面波器件

由Solie和Kino等人提出的薄膜SAW器件,实际上是一种包括覆盖在非压电基片上的压电薄膜在内的层状结构。适当选择压电薄膜和基片材料,可实现强压电耦合和高温度稳定性,氧化锌(ZnO)薄膜由于它有较高的机电耦合系数(K:(?)0.28)、较好的温度稳定性以