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氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成,可以产生并发射氩离子束,用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析,是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果,氩离子的加速电压可达2 kV,在工作距离150 mm和氩气分压为2.0×10-3Pa的情况下,可产生4.5mA的氩离子束流,束斑的直径在10—20 mm之间可调。  相似文献   
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介绍并表征了一套单法兰集成的低能电子显微镜. 这套显微镜中采用了10o偏转角的磁分束器,从而有利于将其集成到一个10 in的法兰上. 电子光学系统中的一些修正单元被简化,以使其结构简单,容易操作. 样品被置于地电位,方便各静电透镜浮在高电压上. 通过几个实验展示了这台显微镜在典型的低能电子成像、低能电子衍射和光电子成像模式下的性能. 低能电子成像的空间分辨率为51 nm. 利用飞秒激光做光源,相应的非线性光电子发射过程使得这台设备非常适合进行光学近场现象的观察,并获得110 nm的光电子成像空间分辨率.  相似文献   
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